一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201610967318.6
IPC分类号：G01B11/02
申请日期：
2016-11-05
申请人：
中北大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置
申请号	CN201610967318.6	申请日期	2016-11-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-03-22	公开/公告号	CN106524921A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市学院路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	李孟委;王宾
代理机构	北京中济纬天专利代理有限公司	代理人	杨乐

摘要

本发明涉及一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，所述微位移检测装置包括位移传感模块、处理单元、显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括能相对移动的双层纳米光栅,所述双层纳米光栅包括可动纳米光栅阵列和固定纳米光栅，并所述可动纳米光栅阵列由多个纳米光栅区域拼接而成，并多个所述光栅区域间留有一定间距；所述处理单元包括一细分电路，所述细分电路可提高该光电探测器阵列输出信号的分辨率。本发明与现有微米级的光栅周期相比，其光栅周期更小，提高了光栅检测微位移的精度；通过对可动纳米光栅阵列的光栅区域拼接，量程更大；整体结构紧凑，微型化程度高，实用性更强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供