一种新型宽幅等离子表面处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN202010291719.0
IPC分类号：H05H1/24
申请日期：
2020-04-14
申请人：
昆山索坤莱机电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种新型宽幅等离子表面处理装置
申请号	CN202010291719.0	申请日期	2020-04-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-16	公开/公告号	CN111295033A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/24 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;2;4查看分类表>
申请人	昆山索坤莱机电科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城南路185号3号房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山索坤莱机电科技有限公司	当前权利人	昆山索坤莱机电科技有限公司
发明人	刘善石
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种新型宽幅等离子表面处理装置，包括封闭的箱体和工作台，所述箱体自上向下依次分为进气区、电离区和出气区，所述进气区上设有工作气体进气孔，进气区内设置混气腔，所述电离区中间设有电极，电极设置于箱体中间的电极腔内，电极的两端连接外部高压电源装置，所述电极为一横向放置的圆柱状长电极，其外部包覆一陶瓷绝缘件，所述电极腔和电极之间设有供工作气体通过的间隙，电极腔上端设有进气通道连接进气区的混气腔，电极腔下端设有等离子通道连接出气区，所述出气区口设有与等离子通道连接的等离子出口，本发明的新型宽幅等离子表面处理装置具有以下优点由于长条电极的设置使其处理宽度加大，解决了单一喷嘴生产效率低的的问题，同时采用技术介质放电，把结构变得非常简单，另外电极周围布满通孔，通气来降低电极放电时产生的高热量。

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