纳米级微位移测量的自由空间微光学光杠杆系统

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020665720.7
IPC分类号：G01B11/02
申请日期：
2010-12-17
申请人：
刘晓旻;李苏贵

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著录项信息

专利名称	纳米级微位移测量的自由空间微光学光杠杆系统
申请号	CN201020665720.7	申请日期	2010-12-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	刘晓旻;李苏贵	申请人地址	河南省郑州市科学大道100号郑州大学物理工程学院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	刘晓旻,李苏贵	当前权利人	刘晓旻,李苏贵
发明人	刘晓旻;李苏贵
代理机构	郑州中原专利事务所有限公司	代理人	霍彦伟;李想

摘要

一种纳米级微位移测量的自由空间微光学光杠杆系统，它包括半导体激光器，所述半导体激光器发出的激光入射到微准直透镜中，微准直透镜出来的反射光到悬臂梁-质量块系统中；从悬臂梁-质量块系统出来的光束由反射镜反射，其反射光经过波导界面投射到PSD光敏板上；所述的波导界面上镀有高反膜层，且波导界面与处理电路板相连接。采用上述技术方案的本实用新型，利用光刻、刻蚀等微光学加工技术，可以研制出平面集成的自由空间光杠杆式微加速度计。用微光学技术制造出的集成自由空间微光学系统，具有体积小，成本低，对准精度高，系统稳定，便于大批量生产等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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