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真空处理装置、静电卡盘的诊断方法及存储介质

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710140389.X
  • IPC分类号:H01L21/00;H01L21/67
  • 申请日期:
    2007-08-10
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称真空处理装置、静电卡盘的诊断方法及存储介质
申请号CN200710140389.X申请日期2007-08-10
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2008-02-13公开/公告号CN101123174
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人古屋敦城;里吉务
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明提供了一种真空处理装置,其在对基板执行真空处理时,在开始使用静电卡盘前,能够诊断电介质层的绝缘状态。在吸附保持玻璃基板(G)等的喷涂型的静电卡盘(22)中,高压电源(67)向静电卡盘(22)的卡盘电极(24)施加比吸附保持玻璃基板(G)的情况低的直流电压即诊断电压,各测量器(70、71)取得各测量位置的电气特性(电压和电流)的测量数据。于是,作为诊断部的控制部(80),将上述电气特性的测量数据分别与预先针对电气特性规定的设定数据(阈值)相比,诊断该静电卡盘(22)是否出于可以使用的状态。

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