一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN202010525496.X
IPC分类号：G01L7/10;G01L11/04;G01L13/02;G01L17/00
申请日期：
2020-06-10
申请人：
北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器
申请号	CN202010525496.X	申请日期	2020-06-10
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-09-04	公开/公告号	CN111623917A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L7/10 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L7/00 用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力（用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移的入G01L 9/00；测量两个或更多个压力差值的入G01L 13/00；同时测量两个或更多个压力值的入G01L 15/00） G01L7/02 弹性形变量计式的 G01L7/10 膜盒式的	IPC分类号	G;0;1;L;7;/;1;0;;;G;0;1;L;1;1;/;0;4;;;G;0;1;L;1;3;/;0;2;;;G;0;1;L;1;7;/;0;0查看分类表>
申请人	北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司	申请人地址	北京市丰台区北京市9200信箱74分箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司	当前权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司
发明人	郝文昌;骆伟;赵广宏;焦海龙;刘铁钢;张小辉
代理机构	中国航天科技专利中心	代理人	张辉

摘要

一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器，包括感压膜片、声表面波谐振器、中间层、压力参考腔和盖板；中间层、感压膜片和盖板通过直接键合或间接键合方式形成整体结构，并在所述整体结构上形成压力参考腔；声表面波谐振器设置在感压膜片的内表面，位于压力参考腔的感压区域中心处；压力参考腔为矩形或椭圆形结构，矩形短边或椭圆形短轴与所述声表面波谐振器中声表面波的传播方向平行，且长度大于等于声表面波谐振器的长度，矩形长边或椭圆形长轴与所述声表面波谐振器中声孔径方向平行；声表面波谐振器(2)汇流条处均连接输出引线。本发明灵敏度高且体积小，加工工艺简单且继承性好，具有良好的长期稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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