样品加工系统

发明专利无效专利

申请号：
CN99123433.2
IPC分类号：--
申请日期：
1999-11-05
申请人：
佳能株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	样品加工系统
申请号	CN99123433.2	申请日期	1999-11-05
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-06-28	公开/公告号	CN1258091
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	柳田一隆;近江和明;坂口清文
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	杜日新

摘要

本发明提供一种适用于制造SOI衬底的加工系统。加工系统包括：无向自动控制装置，用以传送由自动操作手保持的键合衬底叠片；以及配置在与无向自动控制装置的驱动轴大致等距离的位置的定中心设备、分离设备、翻转设备、和清洗/干燥设备。当自动操作手在水平面的绕驱动轴转动并移动靠近或离开该驱动轴时，就在各加工设备之间传递键合衬底叠片或分离后的衬底。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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