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声界面波装置的制造方法以及声界面波装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580009757.6
  • IPC分类号:H03H3/08;H03H9/145
  • 申请日期:
    2005-03-24
  • 申请人:
    株式会社村田制作所
著录项信息
专利名称声界面波装置的制造方法以及声界面波装置
申请号CN200580009757.6申请日期2005-03-24
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2007-03-28公开/公告号CN1938946
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03H3/08IPC分类号H;0;3;H;3;/;0;8;;;H;0;3;H;9;/;1;4;5查看分类表>
申请人株式会社村田制作所申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社村田制作所当前权利人株式会社村田制作所
发明人门田道雄;神藤始
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人李香兰
摘要
本发明提供一种频率偏差较小的声界面波装置的制造方法。该声界面波装置,按顺序层积有第1~第3媒质(1~3)、并且第1媒质(1)与第2媒质(2)间的界面上设有电极(5)。该制造方法中,准备层积有第1媒质(1)与第2媒质(2),并在第1、第2媒质(1、2)的界面中设有电极(5)的层积体,在该层积体阶段,通过调整第2媒质(2)的膜厚来调整频率或声表面波、伪声界面波或声界面波的声速,实施该调整后,形成声界面波的声速及/或材料与第2媒质不同的第3媒质(3)。

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