膜测定装置及方法、涂敷装置及涂敷方法

1.一种膜测定装置，对二次电池的负极的电极板上形成的多孔质膜的物理量进行测定，其特征在于，包括：
摄像部，将对所述多孔质膜摄像得到的彩色图像的色调变换为红色成分、绿色成分及蓝色成分的灰度数据；
表格，存储有预先测得的与绿色成分和蓝色成分的灰度等级对应的所述多孔质膜的物理量的基准值；和
运算部，将来自所述摄像部的绿色成分和蓝色成分的灰度数据中的至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照在所述表格内所存储的物理量的基准值，求出所述多孔质膜的物理量；
其中，所述二次电池具有由复合锂氧化物构成的正极、由能保持锂的材料构成的负极、隔板、由非水溶剂构成的电解液，所述能保持锂的材料是碳材料；
所述多孔质膜由无机氧化物填料及粘结剂粘结形成，所述无机氧化物填料是氧化铝、氧化镁或氧化钛；
所述运算部对求得的多孔质膜的物理量相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，当判断为物理量处于允许范围之外时，向标识器发出标识信号，对多孔质膜的缺陷部分进行标识。
2.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于，
所述多孔质膜的物理量是膜厚；
在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的膜厚的基准值作为基准厚度表被存储。
3.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于，
所述多孔质膜的物理量是单位面积的重量；
在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的重量的基准值作为基准重量表被存储。
4.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于还包括：
照明用光源，对所述多孔质膜照射照明光；
照度传感器，检测所述照明光的照度；
照明控制部，根据所述照度传感器检测到的照度，对所述照明用光源进行反馈控制以使所述照度恒定。
5.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于还包括，输入部，将实测到的物理量作为所述基准值与灰度等级相对应地输入到所述表格中。
6.一种涂敷装置，其特征在于包括：
膜测定装置，如权利要求1至5其中之一所述；
涂敷部，在片状的基材上涂敷了活性物质层后再涂敷所述多孔质膜；
涂敷量控制部，根据所述膜测定装置的运算部求得的所述多孔质膜的物理量，对所述涂敷部的所述多孔质膜的涂敷量进行控制。
7.如权利要求6所述的涂敷装置，其特征在于，所述运算部对求得的所述多孔质膜的物理量相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，将包含所述允许范围之外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。
8.一种膜的测定方法，对在二次电池负极的电极板上形成的多孔质膜的物理量进行测定，其特征在于，包括以下步骤：
将对所述多孔质膜摄像得到的彩色图像的色调变换为红色成分、绿色成分及蓝色成分的灰度数据的变换步骤；和
将在所述变换步骤中得到的绿色成分和蓝色成分中的至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照预先测得并作为表格存储着的、与所述绿色成分和蓝色成分中的至少一个颜色成分的灰度数据对应的所述多孔质膜的物理量的基准值，求出所述多孔质膜的物理量的步骤；
其中，所述二次电池具有由复合锂氧化物构成的正极、由能保持锂的材料构成的负极、隔板、由非水溶剂构成的电解液，所述能保持锂的材料是碳材料；
所述多孔质膜由无机氧化物填料及粘结剂粘结形成，所述无机氧化物填料是氧化铝、氧化镁或氧化钛；
对求得的多孔质膜的物理量相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，当判断为物理量处于允许范围之外时，向标识器发出标识信号，对多孔质膜的缺陷部分进行标识。
9.如权利要求8所述的膜测定方法，其特征在于，
所述多孔质膜的物理量是膜厚；
在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的膜厚的基准值作为基准厚度表被存储。
10.如权利要求8所述的膜测定方法，其特征在于，
所述多孔质膜的物理量是单位面积的重量；
在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的重量的基准值作为基准重量表被存储。
11.一种涂敷方法，采用了权利要求8至10其中之一所述的膜测定方法，其特征在于，包括以下步骤：
在片状的基材上形成活性物质层的步骤；
在所述活性物质层上涂敷多孔质膜的涂敷步骤；
根据用所述膜测定方法求得的所述多孔质膜的物理量，对所述涂敷步骤中的所述多孔质膜的涂敷量进行控制的步骤。
12.如权利要求11所述的涂敷方法，其特征在于，还包括：
对利用所述膜测定方法求得的所述多孔质膜的物理量相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断的步骤；
所述多孔质膜的物理量在允许范围外时，将包含所述允许范围外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来的步骤。

膜测定装置及方法、涂敷装置及涂敷方法\n技术领域\n[0001] 本发明涉及对电池用电极板上形成的多孔质膜的厚度及单位面积的重量进行测定的膜测定装置及方法、具有该膜测定装置的涂敷装置及使用了膜测定方法的涂敷方法。\n背景技术\n[0002] 一直以来，对电池用电极板上形成的多孔质膜的单位面积的重量进行的测定，例如有日本专利特开平8-96806号公报所揭示的方法：即，将β射线发射器和检测器隔着输送的电极材料相对配置，使它们连动地沿测定膜的宽度方向(与输送方向正交的方向)移动，在此期间，从β射线发射器发射β射线，由检测器检测透过电极材料的β射线量，将该检测结果与基准透过量进行比较。\n[0003] 因此，存在如下的问题：测定部位仅限于β射线发射器和检测器所移动到的场所，无法对电极材料的整个区域进行测定。另外，也存在如下缺点：β射线的操作存在危险，为了使用放射线，设置条件非常严格、并需要具有资格等，使用不方便且价格高。此外，由于多孔质膜很薄，多孔质膜的厚度变动引起的β射线的变化量微小，比作为基材的金属片及活性物质层的厚度变动引起的β射线的变化量还小，所以难以进行重量检测。另外，即使使用荧光X射线取代β射线，因为荧光X射线的变化量微小，在空气中的衰减量大，因此还是难以检测重量。\n[0004] 另一方面，在日本特开平8-309262号公报中揭示了以下的膜厚测定装置：对形成有掺合了荧光增白剂的透明涂料所构成的涂膜的高尔夫球表面照射紫外线，利用CCD照相机摄取照射的结果得到的二次发光线，对摄取到的图像进行多值化处理而得到明暗图像，根据明暗图像计测涂膜的厚度。\n[0005] 但是，存在如下的问题：即使将上述日本特开平8-309262号公报记载的现有技术应用到对上述膜状或片状基材上所形成的膜的膜厚的测定上面，若形成的膜不与特定的波长反应就无法测定。\n[0006] 本发明的目的在于提供一种膜测定装置及方法、具有该膜测定装置的涂敷装置及使用了所述膜测定方法的涂敷方法，能在二次电池的电极板上形成的多孔质膜的整个区域正确且简单地测定所述膜的物理量。\n[0007] 本发明的一种膜测定装置对二次电池的正极及负极中的至少一方的电极板上形成的多孔质膜的物理量进行测定，其包括：摄像部，其将对所述多孔质膜摄像得到的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；表格，对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的所述多孔质膜的物理量的基准值；运算部，其将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述基准厚度表内的所述多孔质膜的物理量的基准值，求出所述多孔质膜的物理量。\n[0008] 本发明的一种涂敷装置包括：所述膜测定装置；涂敷部，其在片状的基材上涂敷了活性物质层后再涂敷所述多孔质膜；涂料量控制部，根据所述膜测定装置的运算部求得的所述多孔质膜的物理量，对所述涂敷部的所述多孔质膜的涂敷量进行控制。\n[0009] 本发明的一种膜的测定方法对在二次电池的正极及负极中的至少一方的电极板上形成的多孔质膜的物理量进行测定，其包括：将对所述多孔质膜摄像得到的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据的步骤；将在所述变换步骤中得到的至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照预先测得并作为表格存储着的、与所述至少一个颜色成分的灰度数据对应的所述多孔质膜的物理量的基准值，求出所述多孔质膜的物理量的步骤。\n[0010] 本发明的一种涂敷方法是使用了所述膜测定方法的涂敷方法，其包括：在片状的基材上形成活性物质层的步骤；在所述活性物质层上涂敷多孔质膜的步骤；根据所述膜测定方法求得的所述多孔质膜的物理量，对所述涂敷步骤中的所述多孔质膜的涂敷量进行控制的步骤。\n附图说明\n[0011] 图1是本发明的一实施形态的具有膜厚测定装置的涂敷装置的整体结构图。\n[0012] 图2是表示在铜箔上涂碳后的合剂上形成氧化铝层时氧化铝层的膜厚与红(R)、绿(G)、蓝(B)各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n[0013] 图3是表示在铜箔上涂碳后的合剂上形成氧化铝层时氧化铝层的膜厚与B的颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n[0014] 图4A是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(蓝色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n[0015] 图4B是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(红色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n[0016] 图4C是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(绿色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n[0017] 图4D是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(浅蓝色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n[0018] 图4E是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(粉红色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n具体实施方式\n[0019] 图1是表示本发明的较佳的一实施形态的采用膜厚测定装置1的涂敷装置2的整体结构图。膜测定装置1用于测量作为锂二次电池的电极板上形成的多孔质膜的物理量的膜厚及单位面积的重量。锂二次电池包括：由复合锂氧化物构成的正极、由能保持锂的材料构成的负极、隔板、由非水溶剂构成的电解液，在正极及负极中的至少一方的电极板上粘结形成有由无机氧化物充填物及粘结剂构成的多孔质膜。本实施形态中，作为一个例子对在负极上进行氧化铝成膜的涂敷装置2进行例示和说明。\n[0020] 作为被检查物的负极为片状，线圈状地卷绕成卷筒3。该片4依次拉出，通过多个导辊5被输送，在涂敷部6被涂敷氧化铝涂料，然后通过用于干燥涂料溶液的干燥炉7。在干燥炉7的出口部配置有膜测定装置1。\n[0021] 在膜测定装置1中，在片4的涂敷有氧化铝的一侧配置有彩色CCD传感器8及照明用光源9，在片4从干燥炉7出来之处，照明用光源9对片4上的氧化铝膜照射，利用CCD传感器8在片4的宽度方向全长上依次对氧化铝膜摄像。彩色CCD传感器8也可以将多个传感器配置成直线状以便覆盖片4的整个宽度而构成。为了对片4的整个宽度均匀地照射，使用直管形的荧光灯作为照明用光源9。在彩色CCD传感器8的摄像位置，若能得到干扰光少、具有充足的光量的环境光时，也可不用特意设置照明用光源9。\n[0022] 来自彩色CCD传感器8的彩色图像信号输入图像控制器10，在视频板11，根据载色信号重叠在辉度信号上的合成视频信号，例如利用8位即256灰度依次变换为红(R)、绿(G)、蓝(B)各原色信号。彩色CCD传感器8和视频板11构成摄像部。\n[0023] 图像处理板12从RGB各原色信号抽取片4的宽度方向的行图像(line images)。\n另一方面，测定氧化铝膜的膜厚时使用G或B的颜色成分是有效的，预先测得的与G或B颜色成分的各灰度等级对应的膜厚的基准值作为基准厚度表存储在表13内。对于G或B的颜色成分的有效性将在后面进行说明。\n[0024] 运算部14将从图像处理板12得到的行图像的G或B的颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在表13内的膜厚的基准值，读取与该灰度等级对应的膜厚。但是，如果表13内没有与该灰度等级对应的膜厚的数据时，运算部14适当地利用相对于该灰度等级膜厚特性的近似或数据插补等方法求得该灰度等级的膜厚。在运算部14的灰度等级的测定值与基准值的比较既能以像素单位进行，也能预先划分多个区域，算出各区域内的平均值来进行。\n[0025] 运算部14对氧化铝膜的膜厚相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，当判断为膜厚处于允许范围之外时，则判断该形成有氧化铝膜的负极板为次品，向标识器\n20发出标识信号，对氧化铝膜的缺陷部分进行标识。此时，即使例如仅数平方厘米程度的范围的负极板的膜厚在允许范围之外，但在实际的工序上，必须将数平方米程度的范围的负极板作为次品进行排除，故运算部14将包含膜厚在允许范围之外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。\n[0026] 这样，检查好氧化铝膜的膜厚的片4逐渐卷绕成卷筒15。\n[0027] 在此，在表13内除了与G或B颜色成分的各灰度等级对应的膜厚的测定值以外，成膜材料即氧化铝的单位面积的重量作为基准重量表也与G或B的颜色成分的各灰度等级对应地存储在表13内。由此，运算部14可求出形成的氧化铝膜的膜厚和单位面积的重量。\n[0028] 运算部14向涂敷量控制部21输出补正信号以使求得的膜厚与预定的基准值一致。涂敷量控制部21按照补正信号进行控制，改变涂敷部6的涂敷条件，使涂敷量恒定。\n具体而言，挤压式涂敷(die coater)时通过改变泵的转速来控制涂敷量，而凹版式涂敷(gravurecoater)时通过改变速度比来控制涂敷量。这样能进行反馈控制以使氧化铝的膜厚恒定。\n[0029] 输入部22与表13连接，将测定了膜厚的片4取出，输入实际测得的膜厚及重量的数据，可存储在表13内。通过这样从输入部22输入表数据，可补正各灰度等级与涂敷量的校准线，或补充数据的试样数。其结果，可提高膜厚及重量的测定精度。\n[0030] 此外，在片4的配置有彩色CCD传感器8及照明用光源9的一侧的相反侧配置照度传感器23，在没有输送片4时，例如更换卷筒3、15时，对照明用光源9的照度进行测定。或照度传感器23配置在片4的缘部的外侧，始终测定照明用光源9的照度，利用照明控制部\n24根据该测定结果进行反馈控制，以使照明用光源9的照度恒定。由此，即使照明用光源9发生年久变化或电源电压发生变动等，也可保持照明光的照度恒定，可进行正确膜厚测定。\n[0031] 采用以上的构成，能正确且简单地测定形成的膜厚及重量，可实现成膜流程的调节也容易的涂敷装置2。另外，在测定膜厚时，通过选择有效的至少一个颜色成分，就可测定任意材质的多孔质膜的膜厚及重量。此外，通过改变摄像点或将摄像点扩大至被检查物的整个区域，就可测定膜的整个区域的厚度及重量。\n[0032] 在此，存储在表13内的颜色成分只要是与基材的反差大且在预想的膜厚及重量的变动范围内等级变化较大的颜色成分即可，也可使用单色，或在上述变动范围的多个区域内等级呈显著变化的颜色成分不同时等，可将多个颜色成分组合使用。颜色成分的形式不仅是分别表示RGB或青色(C)、深红色(M)、黄色(Y)等个别的颜色成分的信号，也可是将色差信号与辉度信号合成后的信号等。\n[0033] 图2是表示在铜箔上涂碳后的合剂上形成氧化铝层时氧化铝层的膜厚与RGB的各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。\n[0034] 图2表示的是氧化铝层的膜厚与RGB的各颜色成分的灰度等级的关系，该氧化铝层如下这样形成：在作为基材的铜箔上首先涂敷含有活性物质层即碳的合剂层，进一步在上述活性物质层上涂敷将粘结剂混合在作为无机氧化物填料的氧化铝内而成的氧化铝涂料，从而形成氧化铝层。因此，此时，在消去光泽的黑的合剂层上涂敷有白的粉末的氧化铝涂料。在图2中，第1个试样数据用参照符号βR1、βG1、βB1表示，第2个试样数据用参照符号βR2、βG2、βB2表示。参照符号βR3、βG3、βB3表示的第3个试样是通过改变粘结剂的组成来改变粘性进行测定的试样。在厚度为16μm的铜箔上涂敷单侧的厚度为\n3\n100μm、密度为1.63g/cm 的活性物质层，在该活性物质层上涂敷具有以下组成的氧化铝涂料：氧化铝∶PVDF的比为96∶4，固体含量比45％的NMP溶液。\n[0035] 从图2清楚地知道，RGB的各颜色成分的灰度等级的变化大致相等，可使用任一颜色成分，也可多个组合来提高精度。图3及表1表示相对于B颜色成分的灰度等级的膜厚。\n[0036] 表\n1\n 4.5 151\n 4.8 153\n 5.0 155\n 5.5 160\n 6.5 165[0037] 如图3所示，都在256灰度的范围内，哪怕是1μm程度的膜厚的差异也能通过灰度等级的变化来识别。本实施形态中作为无机氧化物填料使用的氧化铝、氧化钛及氧化镁显示大致相同的灰度等级的变化。\n[0038] 本实施形态的膜测定装置1并不局限于上述氧化铝层的厚度及重量的测定，若是形成在电池用的电极板上的色调随厚度变化的半透明膜也可测定。\n[0039] 图4A、图4B、图4C、图4D及图4E是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。图4A表示涂敷了蓝色油墨的情况，图4B表示涂敷了红色油墨的情况，图4C表示涂敷了绿色油墨的情况，图4D表示涂敷了浅蓝色油墨的情况，图4E表示涂敷了粉红色油墨的情况。\n[0040] 从图4可见，相对于蓝色、绿色及浅蓝色的油墨，膜厚相对于R的颜色成分的灰度等级的变化大，故R的颜色成分是有效的，相对于红色及粉红色的油墨，膜厚相对于G的颜色成分的灰度等级的变化大，故G的颜色成分是有效的。因此，能从摄像得到的彩色图像的至少一个颜色成分测定电池用的电极板上形成的多孔质膜的膜厚。\n[0041] 本实施形态中，对测定锂二次电池的负极板上形成的多孔质膜的膜厚及单位面积的重量的膜测定装置进行了说明，但本发明并不局限于此，也可适用于对作为碱性二次电池的镍-镉二次电池、镍-氢吸藏合金二次电池等的正极或负极的至少一个电极板上形成的多孔质膜的膜厚及单位面积的重量进行测定的膜测定装置。\n[0042] 本发明的特征的结构可归纳如下：\n[0043] 本发明的膜测定装置，对锂二次电池的所述正极及所述负极中的至少一方的电极板上形成的无机氧化物填料及粘结剂所粘结形成的多孔质膜的膜厚进行测定，其中锂二次电池包括：由复合锂氧化物构成的正极、由能保持锂的材料构成的负极、隔板、由非水溶剂构成的电解液，其特征在于，包括：摄像部，其将对所述多孔质膜摄像得到的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；基准厚度表，对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的膜厚的基准值；运算部，其将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述基准厚度表内的膜厚的基准值，求出所述多孔质膜的膜厚。\n[0044] 另外，本发明的膜测定装置，对锂二次电池的所述正极及所述负极中的至少一方的电极板上形成的无机氧化物填料及粘结剂所粘结形成的多孔质膜的单位面积的重量进行测定，其中锂二次电池包括：由复合锂氧化物构成的正极、由能保持锂的材料构成的负极、隔板、由非水溶剂构成的电解液，其特征在于，包括：摄像部，其将对所述多孔质膜摄像得到的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；基准重量表，对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的重量的基准值；运算部，其将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述基准重量表内的重量的基准值，求出所述多孔质膜的单位面积的重量。\n[0045] 采用上述构成，在锂二次电池中的正极或负极的至少一方是由粘结形成有无机氧化物填料及粘结剂构成的多孔质膜的电池电极板构成的情况下，在该电池电极板形成多孔质膜时，利用摄像部以非接触的方式测定膜厚及单位面积的重量，此时所述摄像部对多孔质膜摄像而得到彩色图像，并将膜的色调变换为各颜色成分的灰度数据输出。另一方面，将分别预先对多个试样的膜厚及单位面积的重量测定后得到的基准值与测定膜厚及重量时有效的一个或多个颜色成分的灰度数据相互对应地作为表格存储在基准厚度表及基准重量表内。\n[0046] 测定上述膜厚及重量时的有效颜色成分是指与基材的反差大且在预想的膜厚及重量的变动范围内等级变化较大的颜色成分，可使用单色，或在上述变动范围的多个区域内等级呈显著变化的颜色成分不同等情况下，可将多个颜色成分组合使用。上述颜色成分的形式不仅是分别表示RGB或CMY等个别的颜色成分的信号，也可是将色差信号等与辉度信号合成后的信号等。\n[0047] 对膜厚及重量进行运算的运算部将上述摄像部得到的各颜色成分的灰度数据内对测定膜厚及重量有效的至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照上述基准厚度表及上述基准重量表，读取与该灰度等级对应的膜厚及重量。但是，如果表内没有与该灰度等级对应的膜厚及重量的数据时，上述运算部适当地利用相对于该灰度等级的膜厚及重量特性的近似或数据插补等方法求得与该灰度等级对应的膜厚及重量。\n[0048] 因此，能正确且简单地测定形成的膜的膜厚及单位面积的重量。另外，在测定膜厚及重量时，通过选择有效的至少一个颜色成分，就可测定任意的材质的多孔质膜的膜厚及重量。此外，通过改变摄像点或将摄像点扩大至被检查物的整个区域，就可测定膜的整个区域的厚度及重量。\n[0049] 在本发明的膜测定装置中，最好所述多孔质膜形成在所述负极的电极板上，所述无机氧化物填料是氧化铝、氧化镁或氧化钛，能保持所述锂的材料是碳材料，所述摄像部将所述彩色图像变换为RGB的各颜色成分的灰度数据，所述基准厚度表存储有与G成分及B成分的灰度等级对应的膜厚的基准值，所述运算部将G成分及B成分中的至少一方的颜色成分的灰度数据作为所述索引。\n[0050] 采用该构成，负极用材料即作为所述多孔质膜的材料的无机氧化物使用氧化铝、氧化镁或氧化钛时，就是涂敷白色的粉末，另一方面，而能保持锂的材料为碳材料时，则为消去光泽的黑色。摄像部将它们分解为RGB的颜色成分进行摄像，则对于G及B颜色成分来说，相对于膜厚变化的灰度等级的变化增大。\n[0051] 因此，借助所述基准厚度表及运算部，并利用G及B中的至少一方的颜色成分求出所述多孔质膜的膜厚，能很好地进行锂二次电池中的负极的多孔质膜的膜厚测定。\n[0052] 另外，本发明的膜测定装置最好还包括：对所述多孔质膜照射照明光的照明用光源；检测所述照明光的照度的照度传感器；根据所述照度传感器检测到的照度，对所述照明用光源进行反馈控制以使所述照度恒定的照明控制部。\n[0053] 采用该构成，利用照度传感器检测出照明用光源的年久变化或电源电压的变动等引起的照明光照度的变化，照度控制部根据检测出的照度，对照明用光源进行反馈控制，以使该照度恒定。\n[0054] 因此，照明光的照度与所述照明用光源的年久变化或电源电压的变动等无关地保持恒定，能正确地测定膜厚及重量。\n[0055] 本发明的膜测定装置最好还具有输入部，将实测到的膜厚作为所述基准值与灰度等级对应地输入到所述基准厚度表中。\n[0056] 采用该构成，取出摄像后的电池电极板，将实际测得的膜的厚度数据从输入部输入到将预先测得的膜厚作为基准值存储着的基准厚度表内，由此能补正各灰度等级与涂敷量的校准线，或补充数据的试样数，可提高膜厚的测定精度。\n[0057] 本发明的涂敷装置，其特征在于，包括：膜测定装置，具有所述摄像部、所述基准厚度表、所述运算部；涂敷部，在片状的基材上涂敷了活性物质层的材料后再涂敷由所述无机氧化物填料与所述粘结剂混合而成的涂料；涂料量控制部，根据所述运算部求得的所述多孔质膜的膜厚，对所述涂敷部的所述涂料的涂敷量进行控制。\n[0058] 采用该构成，能根据膜测定装置测得的膜厚自动地控制涂料量。\n[0059] 另外，在本发明的涂敷装置中，所述运算部对求得的膜厚相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，最好将包含所述允许范围之外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。\n[0060] 采用该构成，不仅能检测出在允许范围之外的部分，而且符合实际的工序，能容易地将包含超出该允许范围的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。\n[0061] 如上所述，采用本发明，在二次电池的电极板上形成多孔质膜时，能在膜的整个区域正确且简单地测定任意材质的多孔质膜的厚度及单位面积的重量，能根据测得的膜厚或单位面积的重量自动地控制多孔质膜的涂敷量，并且能容易地检测出多孔质膜的缺陷部分。