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半导体元件的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010143361.3
  • IPC分类号:H01L21/311;G03F7/36
  • 申请日期:
    2010-03-19
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称半导体元件的制造方法
申请号CN201010143361.3申请日期2010-03-19
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2010-09-22公开/公告号CN101840859A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/311
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;1;1;;;G;0;3;F;7;/;3;6查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人邱意为;邱奕松;翁子展;何政昌
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司代理人姜燕;邢雪红
摘要
本发明提供一种半导体元件的制造方法,此制造方法包括如下步骤:提供一半导体基材,该半导体基材包括:导电层;介电衬层;保护层;以及光致抗蚀剂层,且该保护层具有第一开口暴露该保护层的一部分;利用光致抗蚀剂层作为掩模,蚀刻该保护层的暴露部分,以于该保护层中形成第二开口,且暴露介电衬层的一部分;剥除图案化光致抗蚀剂层与移除介电衬层,借由于相同反应腔体内,与温度小于约120℃的条件下,进行一含氧等离子体干式蚀刻工艺与一含氟等离子体干式蚀刻工艺。本发明,其可以节省至少三次工艺的循环,此工艺较为简单且可降低工艺成本,可改善介面漏电流与隔离的特性。

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