用于倾斜波面非零位干涉系统的自由曲面面形重构方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410098162.3
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2014-03-17
申请人：
南京理工大学

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著录项信息

专利名称	用于倾斜波面非零位干涉系统的自由曲面面形重构方法
申请号	CN201410098162.3	申请日期	2014-03-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-11	公开/公告号	CN103852030A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	南京理工大学	申请人地址	江苏省南京市玄武区孝陵卫200号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京理工大学	当前权利人	南京理工大学
发明人	沈华;李嘉;朱日宏;王念;陈磊;高志山
代理机构	南京理工大学专利中心	代理人	朱显国

摘要

本发明公开了一种用于倾斜波面非零位干涉系统的自由曲面面形重构方法，该方法基于微扰理论及哈密尔顿特征函数对倾斜波面非零位干涉系统测试光路的分析，提出了一种回程误差逆向消除算法，同时将计算生成虚拟波面技术应用于倾斜波面非零位干涉系统，解决了通过采集的阵列干涉图如何高精度反演待测件面形的问题。在求解实际待测件面形过程中，提出了一种迭代算法用于面形的最终求解。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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