一种链式扩散系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201811524664.2
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/225;H01L21/67
申请日期：
2018-12-13
申请人：
杭州海莱德智能科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种链式扩散系统
申请号	CN201811524664.2	申请日期	2018-12-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-12	公开/公告号	CN109616554A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;2;2;5;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	杭州海莱德智能科技有限公司	申请人地址	浙江省杭州市滨江区西兴街道滨文路15号2幢A座101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州海莱德智能科技有限公司	当前权利人	杭州海莱德智能科技有限公司
发明人	何振杰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明的一种链式扩散系统，包括依次连接的上料单元、喷涂单元、扩散单元、冷却单元和收料单元；所述扩散单元包括扩散腔体；硅片由所述上料单元传送至所述喷涂单元，再依次经过喷涂单元、扩散单元和冷却单元，最后达到收料单元；所述扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对所述传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述传送装置的上方。本发明链式扩散系统通过平铺式的多点支撑传动方式，在相同的条件下，可延长硅片表面加热时间和温度，推进掺杂结深，从而提高硅片表面的掺杂质量，提高电池的光电转换效率，适应大尺寸硅片和超薄硅片，降低自动化传输技术难度，满足行业产业化需求。

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