一种用于检查玻璃基板研磨质量的装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420839283.4
IPC分类号：G01N21/958;G01B11/00
申请日期：
2014-12-26
申请人：
芜湖东旭光电装备技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于检查玻璃基板研磨质量的装置
申请号	CN201420839283.4	申请日期	2014-12-26
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/958 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/958 检测透明材料〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;8;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	芜湖东旭光电装备技术有限公司	申请人地址	安徽省芜湖市芜湖经济技术开发区管委会三楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	芜湖东旭光电装备技术有限公司	当前权利人	芜湖东旭光电装备技术有限公司
发明人	廖民安;付元涛;王新营;高军召
代理机构	石家庄众志华清知识产权事务所（特殊普通合伙）	代理人	王苑祥

摘要

一种用于检查玻璃基板研磨质量的装置，属于玻璃基板加工技术领域，对玻璃基板的四个边面检查，结构中包括机架、设置在机架上的缺陷检查机构及配套的控制电路，其关键在于：在机架的侧面设有玻璃基板的定位机构、上端面设有平行于玻璃基板的X轴位移机构，在X轴位移机构上设有Y轴位移机构、在Y轴位移机构上设有Z轴位移机构，所述缺陷检查机构设置在Z轴位移机构上。本装置结构简单、自动化程度高、性能稳定可靠。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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