一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510445700.6
IPC分类号：G01B11/02;B81B7/00;B81C1/00
申请日期：
2015-07-27
申请人：
南开大学

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专利名称	一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法
申请号	CN201510445700.6	申请日期	2015-07-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-12-16	公开/公告号	CN105157579A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	南开大学	申请人地址	天津市卫津路94号南开大学物理科学学院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南开大学	当前权利人	南开大学
发明人	兀伟;任梦昕;皮彪;蔡卫;张心正;许京军
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法，所述方法包括：首先在基底材料表面进行镀膜，利用微纳米加工方法在基底材料上制备具有光谱特征峰的微结构阵列；将具有微结构阵列的基底固定于被测样品表面并利用光谱仪对样品表面的微结构进行光谱测量；移动位移传感器，记录光谱特征峰移动位置并计算位移量。所述方法制造的微结构阵列光学位移传感器可以测量微小区域内位移变化量，且具有测量灵敏度高、检测速度快的优势。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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