氦氖激光器纳米测尺系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201610896736.0
IPC分类号：G01B11/02;H01S3/07
申请日期：
2016-10-13
申请人：
南通大学

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著录项信息

专利名称	氦氖激光器纳米测尺系统
申请号	CN201610896736.0	申请日期	2016-10-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2017-03-15	公开/公告号	CN106500602A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;H;0;1;S;3;/;0;7查看分类表>
申请人	南通大学	申请人地址	江苏省南通市崇川区啬园路9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南通大学	当前权利人	南通大学
发明人	邓勇;陈康;汪晨旭;宋健军
代理机构	北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郭栋梁

摘要

本申请公开了一种氦氖激光器纳米测尺系统，包括可动测杆、含直角棱镜折叠腔的氦氖激光器以及数据采集处理单元，氦氖激光器包括直角反射棱镜、直角棱镜腔镜、应力双折射元件、激光增益管、增透窗片和凹面输出腔镜，数据采集处理单元包括偏振分光镜、两个光电探测器、光电转换及放大电路、信号处理电路和显示装置。本申请直角棱镜腔镜与凹面输出腔镜为氦氖激光器的谐振腔的两腔镜，这两个腔镜静止固定，不受可动测杆的影响，系统稳定性高；以直角反射棱镜和直角棱镜腔镜构成折叠腔，直角反射棱镜每移动λ，激光谐振腔的腔长改变Nλ，系统的分辨率提高相应的N倍(N为直角反射棱镜中连续的第一反射面的个数，相邻两个第一反射面相垂直)。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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