加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种可缩短化学气相沉积机台达到稳定状态时间的喷淋头

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510628464.1
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2015-09-28
  • 申请人:
    沈阳拓荆科技有限公司
著录项信息
专利名称一种可缩短化学气相沉积机台达到稳定状态时间的喷淋头
申请号CN201510628464.1申请日期2015-09-28
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-04-05公开/公告号CN106555172A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人沈阳拓荆科技有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人沈阳拓荆科技有限公司当前权利人沈阳拓荆科技有限公司
发明人陈刚;于棚;常晓娜
代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)代理人甄玉荃;陈福昌
摘要
一种可缩短化学气相沉积机台达到稳定状态时间的喷淋头,主要解决现有的化学气相沉积机台达到稳定状态时间长的问题,本发明提供一种可缩短化学气相沉积机台达到稳定状态时间的喷淋头,所述喷淋头与载物台形成相对面,设置于反应腔室中,从喷淋头以喷淋状向载物台进行气体供给,该喷淋头包括喷淋板上表面,喷淋板下表面及多个通孔,所述喷淋板上表面与喷淋板下表面之间设有多个通孔;所述喷淋板下表面所有区域的表面均进行粗糙处理后的粗糙度为0.8-1.1微米。本发明的喷淋头能够简单有效地缩短腔体稳定时间。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供