压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110059649.7
IPC分类号：H01L41/08;H01L41/18;H01L41/22;H03H9/15;B06B1/06
申请日期：
2011-03-11
申请人：
精工爱普生株式会社

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著录项信息

专利名称	压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法
申请号	CN201110059649.7	申请日期	2011-03-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-09-21	公开/公告号	CN102194991A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/00 一般压电器件；一般电致伸缩器件；一般磁致伸缩器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备；这些器件的零部件（由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2〕 H01L41/08 压电器件或电致伸缩器件〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;0;8;;;H;0;1;L;4;1;/;1;8;;;H;0;1;L;4;1;/;2;2;;;H;0;3;H;9;/;1;5;;;B;0;6;B;1;/;0;6查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	松田洋史
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	余刚;吴孟秋

摘要

本发明提供一种压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法。压电元件包括：支撑体，具有能够沿厚度方向变位的变位部；下部电极层，形成在上述支撑体上，在平面图中，具有设置在所述变位部内的下部电极主体部以及与所述下部电极主体部连接并跨到外侧区域地设置的下部电极丝部；第一压电体层，在所述平面图中，在所述变位部内形成在所述下部电极主体部上；上部电极层，在所述平面图中，形成为跨到外侧区域，并且至少一部分层压在所述第一压电体层上且与所述下部电极层绝缘；以及第二压电体层，在所述支撑体上覆盖所述下部电极丝部的至少一部分地形成。

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