图形检测方法及其装置

发明专利无效专利

申请号：
CN97121412.3
IPC分类号：--
申请日期：
1997-09-16
申请人：
株式会社日立制作所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	图形检测方法及其装置
申请号	CN97121412.3	申请日期	1997-09-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1998-05-27	公开/公告号	CN1182921
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社日立制作所	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社日立制作所	当前权利人	株式会社日立制作所
发明人	广井高志;田中麻纪;渡辺正浩;久迩朝宏;品田博之;野副真理;杉本有俊;宍户千绘
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	叶恺东;王忠忠

摘要

本发明公开了一种图形检测方法和装置，该方法和装置在对于具有二维多重设置性的位置和仅具有沿X方向、Y方向的重复性的部分混合在一起的图形，作为若干个对象物进行检测中，简单的进行坐标指定即可检测出缺陷，对着眼点(101)和只离开重复的诸如102a～102d的比较点进行十字形比较，将与任何一个都不相同的部分作为候选缺陷选取出来，这样便可以通过对具有二维重复部分、具有沿X方向或Y方向的重复性的位置进行检测的将孤立点等的沿X方向和Y方向不具有重复性的部分作为候选缺陷选取出来。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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