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具有隧道结的垂直腔面发射激光器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110552800.4
  • IPC分类号:H01S5/183;H01S5/30
  • 申请日期:
    2021-05-20
  • 申请人:
    朗美通经营有限责任公司
著录项信息
专利名称具有隧道结的垂直腔面发射激光器
申请号CN202110552800.4申请日期2021-05-20
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-12-03公开/公告号CN113745970A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S5/183IPC分类号H;0;1;S;5;/;1;8;3;;;H;0;1;S;5;/;3;0查看分类表>
申请人朗美通经营有限责任公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朗美通经营有限责任公司当前权利人朗美通经营有限责任公司
发明人杨军;赵国为;M.G.彼得斯;E.R.黑布洛姆;A.V.巴韦;B.克斯勒
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陈茜
摘要
VCSEL可以包括n型衬底层和在n型衬底层表面上的n型底镜。VCSEL可以包括在n型底镜上的有源区和在有源区上的p型层。VCSEL可以包括有源区上的氧化层,以提供VCSEL的光学和电学限制。VCSEL可以包括在p型层上的隧道结,以反转n型顶镜的载体类型。氧化层在p型层上或p型层中,隧道结在氧化层上,或者隧道结在p型层上,氧化层在隧道结上。VCSEL可以包括隧道结上的n型顶镜、n型顶镜上的顶部接触层和顶部接触层上的顶部金属。

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