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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

连续加热炉

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02828445.3
  • IPC分类号:F27D11/00
  • 申请日期:
    2002-12-26
  • 申请人:
    MRL工业公司
著录项信息
专利名称连续加热炉
申请号CN02828445.3申请日期2002-12-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-06-01公开/公告号CN1623075
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F27D11/00IPC分类号F;2;7;D;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人MRL工业公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人MRL工业公司当前权利人MRL工业公司
发明人W·D·麦克恩泰尔;K·B·佩克;M·D·索利戴;J·桑切斯
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人崔幼平
摘要
一种用于对基片(132)进行热处理的炉子(100),其包括一个加热段(102)和工作元件,加热段(102)包括加热线圈(142),加热线圈具有设置在加热线圈(142)内的隔离件(143),其中加热线圈(142)的质量和隔离件(143)的质量构成加热段(102)的质量。工作元件包括一个处理腔(134)和一个输送机构(106),处理腔(134)便于基片(132)通过加热段(102),输送机构(106)将基片输送过加热段(102)并送入出口组件(117),加热段(102)的质量超过处理腔(134)、输送机构(106)和基片(132)在加热段(102)内的质量和。

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