ENTEGRIS

【1106】工业气体净化装置

【1106】用于过滤或净化液体和气体（包括空气）的金属和有机介质及滤芯

【1106】用于光罩载具的空气和气体过滤器

【1106】用于去除颗粒污染物的空气过滤器

【1106】吹净气体过滤器

【1106】用于光罩载体的空气和气体净化器

【1106】用于去除化学和分子污染物的空气过滤器

【1106】吹净气体净化器

【1106】用于从空气中去除颗粒和分子污染物的工业用过滤器和净化器

【1106】用于光罩载体相关物品（即仓储装置、侧扫描仪机架和库）空气和气体净化器

【1106】用于光罩载体附件（即存储系统和吹净系统）的空气和气体过滤器

【1106】用于过滤或净化气体的聚合物和金属膜及滤芯，

【1106】气体扩散器

【1106】与工艺腔体一起使用的气体扩散器

【1106】用于工业装置的气体过滤器和净化器

【1106】气体净化器和输送系统，即气体歧管、阀门、调节器、流量控制器和管道系统

【1106】设备，即由存储容器、泵、过滤器、清洁器、脱气装置、提取器、洗涤器、剥离器组成的气体过滤系统

【1106】用于半导体工业、从气体中去除溶解污染物的净化装置

【1106】用于过滤或净化气体的聚合物和金属膜及滤芯

【1106】用于过滤或净化液体的金属和有机介质和滤芯，气体过滤器、气体监测系统，包括歧管、阀门、调节器、流量控制器和管道系统，以及气体控制系统，包括阀门、调节器、流量控制器和管道系统，上述用于气体、半导体、电子产品、光刻、集成电路和集成光学系统工业，以及上述商品的零部件、配件和部件

【1106】用于液体净化、浓缩和脱气的气体和液体膜接触器

【1106】商用和工业用气体和液体净化或过滤、接触和输送设备和技术，即气体和液体的净化和输送系统，其包括储罐、泵、过滤器、清洁器、脱气器、提取器、洗涤器、汽提塔

【1107】用于高纯度流体的热交换器

【1110】半导体工业用液体过滤器

【1110】超纯水系统用水过滤器

【1110】用于微电子产品工业的浆料过滤器

【1110】用于微电子产品工业的超纯水净化装置

【1110】用于从浆料中去除污染物的净化器和过滤器，

【1110】用于过滤液体加工化学品的工业用过滤器

【1110】用于光化学溶剂过滤和纯化的工业应用过滤器和净化器

【1110】用于微电子产品制造的水过滤器

【1110】用于微电子产品工业的液体过滤器

【1110】用于去除大颗粒物质的过滤器

【1110】工业用流体过滤装置，及其零部件

【1110】用于微电子产品工业的连接和断开过滤器和过滤器外壳的流体过滤器和相关联的歧管

【1110】商用和工业用气体和液体净化或过滤、接触和输送设备和技术，即气体和液体的净化和输送系统，其包括储罐、泵、过滤器、清洁器、脱气器、提取器、洗涤器、汽提塔

【1110】用于过滤或净化液体的聚合物和金属膜及滤芯以及相关的歧管，

【1110】用于从浆料中去除污染物的净化器和过滤器

【1110】净化产品及其零部件，即过滤/净化液体用聚合膜和滤筒

【1110】工业用液体化学品过滤筒歧管，即与任何液体化学品输送管道或管子用泵配套的

【1110】用于过滤或净化液体和气体（包括空气）的金属和有机介质及滤芯

【1110】用于过滤或净化液体的金属和有机介质和滤芯，气体过滤器、气体监测系统，包括歧管、阀门、调节器、流量控制器和管道系统，以及气体控制系统，包括阀门、调节器、流量控制器和管道系统，上述用于气体、半导体、电子产品、光刻、集成电路和集成光学系统工业，以及上述商品的零部件、配件和部件

【1110】用于过滤或净化液体的聚合物和金属膜及滤芯以及相关的歧管

【1110】用于从用于制造半导体的液体工艺流中去除金属离子污染物的装置，即用于去除金属离子污染物的净化器和用于去除金属离子和颗粒污染物的组合净化器/过滤器

【1110】用于液体净化、浓缩和脱气的气体和液体膜接触器

【1110】由水、化学品或浆料过滤筒和分配歧管组成的工业用过滤系统，即用于化学品、水和浆料的过滤和净化

【1110】用于从水和液体化学品中过滤颗粒物质的过滤装置，上述用于制造半导体