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【0901】下述用途的光学计量、表征和检查系统，其包括成套出售的机器、组件和操作软件，即用于测试光学部件的透射波前和表面形状、光学、金属、半导体、陶瓷、塑料、油漆和其他精细加工材料的表面粗糙度，以及航空航天、汽车、发电、半导体、数据存储、轴承、增材制造和其他精密加工部件中零部件的缺陷和几何形状

【0901】可下载的软件，即下述用途的过程控制和缺陷分析软件，即用于生产包括分立电子部件的层状衬底、包括非易失性和易失性存储器件的半导体、铸造和逻辑器件、asic器件、cmos图像传感器、微机电系统、发光二极管和其他微纳技术器件、封装系统、异质封装以及其他先进的封装电子技术

【0910】干涉仪，其用于测试光学部件的透射波前和表面形状、光学、金属、半导体、陶瓷、塑料、油漆和其他精细加工材料的表面粗糙度，以及航空航天、汽车、发电、半导体、数据存储、轴承、增材制造和其他精密加工部件中零部件的缺陷和几何形状

【0910】下述用途的光学计量、表征和检查系统，其包括成套出售的机器、组件和操作软件，即用于测试光学部件的透射波前和表面形状、光学、金属、半导体、陶瓷、塑料、油漆和其他精细加工材料的表面粗糙度，以及航空航天、汽车、发电、半导体、数据存储、轴承、增材制造和其他精密加工部件中零部件的缺陷和几何形状

【0911】干涉仪，其用于测试光学部件的透射波前和表面形状、光学、金属、半导体、陶瓷、塑料、油漆和其他精细加工材料的表面粗糙度，以及航空航天、汽车、发电、半导体、数据存储、轴承、增材制造和其他精密加工部件中零部件的缺陷和几何形状

【0911】下述用途的光学计量、表征和检查系统，其包括成套出售的机器、组件和操作软件，即用于测试光学部件的透射波前和表面形状、光学、金属、半导体、陶瓷、塑料、油漆和其他精细加工材料的表面粗糙度，以及航空航天、汽车、发电、半导体、数据存储、轴承、增材制造和其他精密加工部件中零部件的缺陷和几何形状