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0748发动机（不包括用于陆地车辆的），尤其是压电电动机和电动机、用于单级和多轴向定位系统的电动马达和压电驱动器；
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0748发动机（不包括用于陆地车辆的），尤其是压电电动机和电动机、用于单级和多轴向定位系统的电动马达和压电驱动器；
0901科学设备和仪器，尤其是用于实验室的科学研究、数据处理设备、与计算机配套使用的外围设备、计算机和计算机软件，尤其是用于操作调节和定位系统；
0905表面测量设备，即光电子和非接触式操作；
0907精密定位系统，调节和定位系统，尤其是作为控制和测量仪器零部件的配有压电传动装置的系统；
0910科学设备和仪器，尤其是用于实验室的科学研究、精密定位系统，调节和定位系统，尤其是作为控制和测量仪器零部件的配有压电传动装置的系统、测量仪器，尤其是电子和电子光学测量设备、精密测量设备、观测仪器、表面测量设备，即光电子和非接触式操作、低温恒温器、距离测量设备，尤其是用于机械定位系统的集成路径传感器；
0911磁力显微镜、用于显微镜的移动反射镜装置、用于显微镜的控制设备，尤其是用于扫描原子力的显微镜，磁力显微镜，激光扫描显微镜以及扫描电子显微镜、显微镜，精密显微镜，尤其是用于在低温下、原子力显微镜、激光扫描显微镜、扫描电子显微镜、光学设备和仪器，尤其是光学传感器；
0913电气和电子控制装置、用于调节装置的控制和调节单元，微型定位平台，特别是用于光波导和光纤、精密定位系统，调节和定位系统，尤其是作为控制和测量仪器零部件的配有压电传动装置的系统、电气控制机械式调节装置，包括控制和调节装置、干涉式传感器、距离测量设备，尤其是用于机械定位系统的集成路径传感器、光学设备和仪器，尤其是光学传感器；
0914电气和电子控制装置；
0901科学设备和仪器，尤其是用于实验室的科学研究、数据处理设备、与计算机配套使用的外围设备、计算机和计算机软件，尤其是用于操作调节和定位系统；
0905表面测量设备，即光电子和非接触式操作；
0907精密定位系统，调节和定位系统，尤其是作为控制和测量仪器零部件的配有压电传动装置的系统；
0910科学设备和仪器，尤其是用于实验室的科学研究、精密定位系统，调节和定位系统，尤其是作为控制和测量仪器零部件的配有压电传动装置的系统、测量仪器，尤其是电子和电子光学测量设备、精密测量设备、观测仪器、表面测量设备，即光电子和非接触式操作、低温恒温器、距离测量设备，尤其是用于机械定位系统的集成路径传感器；
0911磁力显微镜、用于显微镜的移动反射镜装置、用于显微镜的控制设备，尤其是用于扫描原子力的显微镜，磁力显微镜，激光扫描显微镜以及扫描电子显微镜、显微镜，精密显微镜，尤其是用于在低温下、原子力显微镜、激光扫描显微镜、扫描电子显微镜、光学设备和仪器，尤其是光学传感器；
0913电气和电子控制装置、用于调节装置的控制和调节单元，微型定位平台，特别是用于光波导和光纤、精密定位系统，调节和定位系统，尤其是作为控制和测量仪器零部件的配有压电传动装置的系统、电气控制机械式调节装置，包括控制和调节装置、干涉式传感器、距离测量设备，尤其是用于机械定位系统的集成路径传感器、光学设备和仪器，尤其是光学传感器；
0914电气和电子控制装置；
0901计算机和计算机软件，尤其是用于操作调节和定位系统、数据处理设备、专门与计算机配套的外围设备；
0907精密定位系统，调节和定位系统，尤其是用压电驱动器；
0910距离测量设备，尤其是用于机械定位系统的集成路径传感器、精密测量设备、科学设备和仪器，尤其是用于实验室的科学研究、观测仪器、表面测量设备，即光电子和非接触式操作、低温恒温器、测量仪器，尤其是电子和电子光学测量设备；
0911磁力显微镜、显微镜，精密显微镜，尤其是用于在低温下、原子力显微镜、激光扫描显微镜、扫描电子显微镜、光学设备和仪器，尤其是光学传感器、用于显微镜的移动反射镜装置、用于显微镜的控制设备，尤其是用于扫描原子力的显微镜，磁力显微镜，激光扫描显微镜以及扫描电子显微镜；
0913干涉式传感器、电控机械式调节装置、用于调节装置的控制和调节单元，微定位平台，特别是用于光波导和光纤；
0914电气和电子控制装置；
0901计算机和计算机软件，尤其是用于操作调节和定位系统、数据处理设备、专门与计算机配套的外围设备；
0907精密定位系统，调节和定位系统，尤其是用压电驱动器；
0910距离测量设备，尤其是用于机械定位系统的集成路径传感器、精密测量设备、科学设备和仪器，尤其是用于实验室的科学研究、观测仪器、表面测量设备，即光电子和非接触式操作、低温恒温器、测量仪器，尤其是电子和电子光学测量设备；
0911磁力显微镜、显微镜，精密显微镜，尤其是用于在低温下、原子力显微镜、激光扫描显微镜、扫描电子显微镜、光学设备和仪器，尤其是光学传感器、用于显微镜的移动反射镜装置、用于显微镜的控制设备，尤其是用于扫描原子力的显微镜，磁力显微镜，激光扫描显微镜以及扫描电子显微镜；
0913干涉式传感器、电控机械式调节装置、用于调节装置的控制和调节单元，微定位平台，特别是用于光波导和光纤；
0914电气和电子控制装置；
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