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4209材料测试与分析、过程校正；
4210与分析仪器相关的校准服务、过程校正；
4214材料测试与分析；
4220用于以下领域的软件的设计与开发：微观和纳米科学技术领域的过程控制、为他人提供的软件设计，上述服务用于：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、计算机软件的安装、维护、更新级，上述服务用于：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、计算机软件的设计、开发和编程，上述服务用于：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、计算机软件的安装、维护、更新和升级，上述服务用于：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、软件即服务（SaaS），上述服务用于：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类；
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0901校准软件、远程仪表监控用计算机软件、用于以下领域的软件：微观和纳米科学技术领域的分类、用于以下领域的软件：微观和纳米科学技术领域的过程控制、用于以下领域的软件：蒙特卡罗仿真、用于监测、分析、控制和运行实体世界操作的软件，上述内容均属于微观和纳米科学技术领域、用于下述方面的远程监控和分析的可下载的计算机软件，即：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：微观和纳米科学技术领域的过程监测、用于以下领域的软件：表面结构、用于以下领域的软件：材料分析、用于以下领域的仿真软件：扫描电子显微镜、用于以下领域的仿真软件：表面分析、用于以下领域的软件：计量、用于以下领域的软件：缺陷检测、显微镜软件、与下列商品相关的软件：扫描电子显微镜、用于下述方面的自动化软件：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的仿真软件：材料分析、计量软件、识别软件、监测软件、控制软件，上述商品用于：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：微结构和纳米结构系统的控制、下述用途的计算机硬件：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：表面分析、用于下述方面的仿真软件：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：光刻系统的控制；
0904测量、检测、监测和控制装置；
0905测量、检测、监测和控制装置；
0910测量传感器、测量、检测、监测和控制装置；
0911扫描电子显微镜、扫描探针显微镜、扫瞄探针显微镜方法设备及仪器；
0913测量传感器、测量、检测、监测和控制装置；
0914测量、检测、监测和控制装置；
0901校准软件、远程仪表监控用计算机软件、用于以下领域的软件：微观和纳米科学技术领域的分类、用于以下领域的软件：微观和纳米科学技术领域的过程控制、用于以下领域的软件：蒙特卡罗仿真、用于监测、分析、控制和运行实体世界操作的软件，上述内容均属于微观和纳米科学技术领域、用于下述方面的远程监控和分析的可下载的计算机软件，即：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：微观和纳米科学技术领域的过程监测、用于以下领域的软件：表面结构、用于以下领域的软件：材料分析、用于以下领域的仿真软件：扫描电子显微镜、用于以下领域的仿真软件：表面分析、用于以下领域的软件：计量、用于以下领域的软件：缺陷检测、显微镜软件、与下列商品相关的软件：扫描电子显微镜、用于下述方面的自动化软件：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的仿真软件：材料分析、计量软件、识别软件、监测软件、控制软件，上述商品用于：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：微结构和纳米结构系统的控制、下述用途的计算机硬件：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：表面分析、用于下述方面的仿真软件：微观和纳米科学和技术领域中的图案化、加工，微纳米科学技术领域的制造，微观和纳米科学技术领域光刻、显微技术、仿真，微观和纳米科学和技术、计量、检查和缺陷检测领域的分类、用于以下领域的软件：光刻系统的控制；
0904测量、检测、监测和控制装置；
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