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4209工业生产设施的工程、技术咨询、规划、技术设计、工业生产设施的设计和开发、科学技术服务和与之相关的研究与设计服务、工业分析与研究、有关工业生产工业功能、生产能力和成本的分析、开发、研究和技术优化、有关工业产品和设备的分析、开发、研究和技术优化；

4210科学技术服务和与之相关的研究与设计服务、工业分析与研究；

4211工业分析与研究、科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

4212科学技术服务和与之相关的研究与设计服务、工业分析与研究；

4213科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

4214科学技术服务和与之相关的研究与设计服务、工业分析与研究；

4216工业生产设施的工程、技术咨询、规划、技术设计、工业生产设施的设计和开发、科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

4217科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

4218科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

4220科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

4224科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

4227科学技术服务和与之相关的研究与设计服务；

0104陶瓷溅射靶材（化学原料）、涂层复合物（真空涂覆用化学品），非油漆、用于利用物理气相沉积法生产表面复合物的化学涂料；

3702制造设备的架设；

3706有关测量设备和仪器（机器和/或组合机器组件）的安装、修理和维护服务、有关机器、机器组件和组合机器的安装、修理和维护服务；

0603金属溅射靶材；

4101教育；

4102教育、提供有关机器和组合机器安装、维护和修理的培训和培训课程；

2002用于存储、运输和加工基体（尤指硅晶片）的塑料容器；

0910用于机器和/或组合机器的测量设备和仪器；

0715自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用、真空涂覆机，尤指利用物理或化学气相沉积法对下列平面及三维基体进行真空涂覆的涂覆机，即，用于食品、饮料、化妆品、珠宝首饰、汽车、光学制品、卫生工程学、照明设备、医学工程、消费型及家用电子产品和其他工业应用的塑料、玻璃、陶瓷或金属基体；

0717用于生产太阳能电池（尤指硅太阳能电池）的自动化、真空沉积、湿化学处理、激光消融、丝网印刷或热处理组合机器、用于生产太阳能电池（尤指薄膜太阳能电池）的自动化、真空沉积、湿化学处理、激光消融、热处理、层压或接触处理组合机器、湿化学流水线处理机，尤指刻蚀、清洁、涂覆和干燥机，尤其用于薄膜太阳能电池、大面积物理气相沉积涂覆机，尤指为生产薄膜型太阳能电池在玻璃或挠性基体上进行铜、铟、镓、硒、硫磺、硫化铟、氟化钠、氟化钾、铝及其复合材料的多层沉积、大面积物理气相沉积涂覆机，尤指为生产薄膜型太阳能电池在玻璃上进行镉、碲、硫化镉、氯化镉及其复合材料的多层沉积、用于生产太阳能电池（尤指薄膜太阳能电池）的在受控气氛中对预涂覆大面积基体进行热处理（加热和冷却）的机器、多层湿化学浴沉积机，尤指用于薄膜太阳能电池的硫化镉、氧-硫化锌和硫化锌的多层沉积、批量基体湿化学处理机，尤指基体的刻蚀、清洁、涂覆和干燥，尤指对用于生产晶状太阳能电池、半导体设备和光学组件的半导体或玻璃晶片的上述处理、大面积真空沉积涂覆机，尤指在玻璃、金属或塑料基体上进行水平或垂直溅射沉积，尤指用于生产太阳能电池的溅射沉积、利用物理气相沉积技术的磁性和非磁性材料多层沉积机，尤指用于MRAM（磁阻随机访问存储）电池和磁性传感器研究、开发和生产的线性动态沉积机，尤指用于异向性磁电阻（AMR）、巨磁电阻（GMR）和隧道磁电阻（TMR）结构的研究、开发和生产；

0726大面积真空沉积涂覆机，尤指在玻璃、金属或塑料基体上进行水平或垂直溅射沉积，尤指用于生产太阳能电池的溅射沉积、自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用、真空涂覆机，尤指利用物理或化学气相沉积法对下列平面及三维基体进行真空涂覆的涂覆机，即，用于食品、饮料、化妆品、珠宝首饰、汽车、光学制品、卫生工程学、照明设备、医学工程、消费型及家用电子产品和其他工业应用的塑料、玻璃、陶瓷或金属基体、用于利用金属、金属合金、金属氧化物或金属氮化物对盘形塑料基材进行真空涂覆以生产光学存储介质的机器；

0727大面积真空沉积涂覆机，尤指在玻璃、金属或塑料基体上进行水平或垂直溅射沉积，尤指用于生产太阳能电池的溅射沉积、自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用、真空涂覆机，尤指利用物理或化学气相沉积法对下列平面及三维基体进行真空涂覆的涂覆机，即，用于食品、饮料、化妆品、珠宝首饰、汽车、光学制品、卫生工程学、照明设备、医学工程、消费型及家用电子产品和其他工业应用的塑料、玻璃、陶瓷或金属基体、湿化学流水线处理机，尤指用于玻璃和硅材料基体单面和双面处理的清洁、酸蚀、碱蚀和干燥；

0729自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用、批量材料湿化学处理机，尤指单晶硅和多晶硅的化学刻蚀、清洁和干燥处理，尤指切割过的大块和锭块硅材料、湿化学流水线处理机，尤指刻蚀、清洁、涂覆和干燥机，尤其用于薄膜太阳能电池、多层湿化学浴沉积机，尤指用于薄膜太阳能电池的硫化镉、氧-硫化锌和硫化锌的多层沉积、批量基体湿化学处理机，尤指基体的刻蚀、清洁、涂覆和干燥，尤指对用于生产晶状太阳能电池、半导体设备和光学组件的半导体或玻璃晶片的上述处理、湿化学流水线处理机，尤指用于玻璃和硅材料基体单面和双面处理的清洁、酸蚀、碱蚀和干燥、金属有机化合物化学气相沉积机（MOCVD）金属有机化合物化学气相（晶体）取向附生机（MOVPE）；

0735真空涂覆机，尤指利用物理或化学气相沉积法对下列平面及三维基体进行真空涂覆的涂覆机，即，用于食品、饮料、化妆品、珠宝首饰、汽车、光学制品、卫生工程学、照明设备、医学工程、消费型及家用电子产品和其他工业应用的塑料、玻璃、陶瓷或金属基体、大面积真空沉积涂覆机，尤指在玻璃、金属或塑料基体上进行水平或垂直溅射沉积，尤指用于生产太阳能电池的溅射沉积、自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用；

0736大面积真空沉积涂覆机，尤指在玻璃、金属或塑料基体上进行水平或垂直溅射沉积，尤指用于生产太阳能电池的溅射沉积、自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用、注模成型机，尤指薄壁光学零部件和多结构零部件的注模成型机、真空涂覆机，尤指利用物理或化学气相沉积法对下列平面及三维基体进行真空涂覆的涂覆机，即，用于食品、饮料、化妆品、珠宝首饰、汽车、光学制品、卫生工程学、照明设备、医学工程、消费型及家用电子产品和其他工业应用的塑料、玻璃、陶瓷或金属基体；

0742大面积真空沉积涂覆机，尤指在玻璃、金属或塑料基体上进行水平或垂直溅射沉积，尤指用于生产太阳能电池的溅射沉积、自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用、真空涂覆机，尤指利用物理或化学气相沉积法对下列平面及三维基体进行真空涂覆的涂覆机，即，用于食品、饮料、化妆品、珠宝首饰、汽车、光学制品、卫生工程学、照明设备、医学工程、消费型及家用电子产品和其他工业应用的塑料、玻璃、陶瓷或金属基体；

0744用于生产存储介质（尤指盘形存储媒介）的金属或陶瓷多层真空沉积机、多层真空沉积机，尤指透明、传导、金属、半导体、非导体、介电或透明/导电或钝化层的沉积，尤指利用物理或化学气相沉积法在基体上沉积，尤指在玻璃及硅材料上沉积、批量材料湿化学处理机，尤指单晶硅和多晶硅的化学刻蚀、清洁和干燥处理，尤指切割过的大块和锭块硅材料、利用（湿）压纹技术的纳米压印光刻机，尤指用于生产散射光学组件、微流体设备和微电子机械结构（MEMS）的此类机器、用于生产光学存储介质（尤指CD光盘、DVD光盘5/10、DVD9）的注模、真空沉积、涂漆（旋转涂覆）、粘合、紫外线固化和质量检验机、用于生产光学存储介质（尤指光学存储光盘，bd（蓝光光盘）25/33/50/66/100 （蓝色射线光盘）， 超 hd蓝色射线光盘 ）的注模、真空沉积、涂漆（旋转涂覆）、（湿）压纹、紫外线固化和质量检验机、利用物理气相沉积技术的磁性和非磁性材料多层沉积机，尤指用于MRAM（磁阻随机访问存储）电池和磁性传感器研究、开发和生产的线性动态沉积机，尤指用于异向性磁电阻（AMR）、巨磁电阻（GMR）和隧道磁电阻（TMR）结构的研究、开发和生产、批量基体湿化学处理机，尤指基体的刻蚀、清洁、涂覆和干燥，尤指对用于生产晶状太阳能电池、半导体设备和光学组件的半导体或玻璃晶片的上述处理、用于光阻材料、激光照射、光阻技术开发、激光束记录和质量检验的清洁、真空沉积、旋转涂覆机，尤指用于生产CD光盘、dvd5/10， dvd 9和其他记录格式的光盘母盘的上述机器、利用物理气相沉积技术的磁性和非磁性多层沉积机，尤指用于研究、开发和生产的旋转基材沉积、用于利用金属、金属合金、金属氧化物或金属氮化物对盘形塑料基材进行真空涂覆以生产光学存储介质的机器、湿化学流水线处理机，尤指用于玻璃和硅材料基体单面和双面处理的清洁、酸蚀、碱蚀和干燥；

0747大面积真空沉积涂覆机，尤指在玻璃、金属或塑料基体上进行水平或垂直溅射沉积，尤指用于生产太阳能电池的溅射沉积、大面积物理气相沉积涂覆机，尤指为生产薄膜型太阳能电池在玻璃上进行镉、碲、硫化镉、氯化镉及其复合材料的多层沉积、自动化、真空沉积、表面处理、涂漆（旋转涂覆）、紫外线固化或干燥组合机器，其用于对平面及三维基体进行净化处理，尤指塑料、玻璃、陶瓷或金属处理，尤指用于下列行业的上述材料，即，食品，饮料，化妆品，珠宝首饰，汽车，光学制品，卫生工程学，照明设备，医学工程，消费型及家用电子品或其他工业应用、大面积物理气相沉积涂覆机，尤指为生产薄膜型太阳能电池在玻璃或挠性基体上进行铜、铟、镓、硒、硫磺、硫化铟、氟化钠、氟化钾、铝及其复合材料的多层沉积、真空涂覆机，尤指利用物理或化学气相沉积法对下列平面及三维基体进行真空涂覆的涂覆机，即，用于食品、饮料、化妆品、珠宝首饰、汽车、光学制品、卫生工程学、照明设备、医学工程、消费型及家用电子产品和其他工业应用的塑料、玻璃、陶瓷或金属基体、用于利用金属、金属合金、金属氧化物或金属氮化物对盘形塑料基材进行真空涂覆以生产光学存储介质的机器；