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一种电磁研磨盘基座

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010821729.0
  • IPC分类号:B24B1/00;B24B37/11;B24B37/27
  • 申请日期:
    2020-08-15
  • 申请人:
    上海致领半导体科技发展有限公司
著录项信息
专利名称一种电磁研磨盘基座
申请号CN202010821729.0申请日期2020-08-15
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-10-30公开/公告号CN111843633A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B1/00IPC分类号B;2;4;B;1;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;1;1;;;B;2;4;B;3;7;/;2;7查看分类表>
申请人上海致领半导体科技发展有限公司申请人地址
上海市浦东新区创业路369弄1-68号20幢3层301室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海致领半导体科技发展有限公司当前权利人上海致领半导体科技发展有限公司
发明人王永成
代理机构上海互顺专利代理事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
本发明公开了一种电磁研磨盘基座,包括零件、研磨盘、螺丝、凹口座、电磁吸盘、连接盘、主轴、调节口、防导插杆和安装机构,零件紧固安装于研磨盘上,研磨盘上螺纹安装有螺丝,本发明通过优化设置了电磁吸盘和安装机构,隔绝座上电磁圈采用电磁力与零件吸引配合,配合提升研磨精度,加工效率高;将防导插杆嵌入安装机构,安装机构内设有侧卡板限制防导插杆底端结构向上位移,在解除后,防导插杆底端第二弹簧将其托起,组合安装时灵活拆卸,使用效果好。

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