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一种基板处理方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410462718.2
  • IPC分类号:C03C15/00;G06F3/044
  • 申请日期:
    2014-09-11
  • 申请人:
    深圳莱宝高科技股份有限公司;重庆莱宝科技有限公司
著录项信息
专利名称一种基板处理方法
申请号CN201410462718.2申请日期2014-09-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-04-06公开/公告号CN105461232A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03C15/00IPC分类号C;0;3;C;1;5;/;0;0;;;G;0;6;F;3;/;0;4;4查看分类表>
申请人深圳莱宝高科技股份有限公司;重庆莱宝科技有限公司申请人地址
广东省深圳市南山区高新技术产业园北区朗山二路9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳莱宝高科技股份有限公司,重庆莱宝科技有限公司当前权利人深圳莱宝高科技股份有限公司,重庆莱宝科技有限公司
发明人王士敏;朱泽力;郭志勇;陈雄达;李绍宗
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种基板处理方法,其至少包括以下步骤:提供至少一基板,所述基板至少具有一加工部位;对所述基板的加工部位进行数控加工处理,所述数控加工处理至少包括对所述加工部位喷射一种冷却液以进行冷却处理的步骤,所述冷却液中至少添加有一种蚀刻剂。

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