压力传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN200680035482.8
IPC分类号：G01L9/00;H01L41/08;H03H9/19
申请日期：
2006-09-25
申请人：
爱普生拓优科梦株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	压力传感器
申请号	CN200680035482.8	申请日期	2006-09-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-09-24	公开/公告号	CN101273256
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L9/00 用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的（测量两个或多个压力差值的入G01L 13/00；同时测量两个或多个压力值的入G01L 15/00）	IPC分类号	G;0;1;L;9;/;0;0;;;H;0;1;L;4;1;/;0;8;;;H;0;3;H;9;/;1;9查看分类表>
申请人	爱普生拓优科梦株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	石井修
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	陈坚

摘要

本发明提供一种压力传感器，其具有双音叉型压电振动元件及第一和第二薄膜基板，双音叉型压电振动元件具有：压电元件(3)，其具有并联地分离配置的两个臂部(4、4)，和分别支撑各臂部的长度方向两端部并连接为一体的第一和第二支撑部(5、6)；以及激励用电极7，其形成在各臂部的四面上，通过用环状连接设置片(8)将第一和第二支撑部之间连接起来设置，来将两个臂部配置在环状连接设置片的内部空间内，通过将上述第一和第二薄膜基板分别接合在上述双音叉型压电振动元件的环状连接设置片的表背两面，而在作为气密空间的该环状连接设置片的内部空间内，以上述两个臂部不与上述气密空间的内壁接触的状态收纳上述两个臂部。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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