一种电容耦合等离子体刻蚀设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201811544972.1
IPC分类号：H01J37/02;H01J37/305;H01J37/32
申请日期：
2018-12-17
申请人：
中微半导体设备（上海）股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种电容耦合等离子体刻蚀设备
申请号	CN201811544972.1	申请日期	2018-12-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-23	公开/公告号	CN111326382A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;2;;;H;0;1;J;3;7;/;3;0;5;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	中微半导体设备（上海）股份有限公司	申请人地址	上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中微半导体设备（上海）股份有限公司	当前权利人	中微半导体设备（上海）股份有限公司
发明人	黄允文;倪图强;梁洁;赵金龙;吴磊
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	党丽;王宝筠

摘要

本发明提供一种电容耦合等离子体刻蚀设备，下电极固定于导电支撑杆的下端，在导电支撑杆的下端固定有可伸缩导电部，该可伸缩导电部沿导电支撑杆的轴向伸缩，同时，通过电连接部将可伸缩导电部的下端与射频匹配器输出端之间的电连接起来，这样，可以通过可伸缩导电部的伸缩来控制下电极的高度，从而，使得上下极板之间的间距可调。同时，在下电极的外侧，还设置有内导电环，该内导电环通过可伸缩导电部与腔体电连接，该内导电环下电极与腔体内的射频返回路径之间形成屏蔽，避免移动过程中下电极射频场引起射频回路的不稳定，从而实现极板间距的可调的同时，兼顾射频回路的稳定性。

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