溅射镍靶材生产中的冷却装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201620004227.8
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2016-01-02
申请人：
沈阳兴工铜业有限公司

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著录项信息

专利名称	溅射镍靶材生产中的冷却装置
申请号	CN201620004227.8	申请日期	2016-01-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	沈阳兴工铜业有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市苏家屯区八一街道办事处官明街11-1甲号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	沈阳兴工铜业有限公司	当前权利人	沈阳兴工铜业有限公司
发明人	王嗣杰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及溅射靶材生产技术领域，公开了一种溅射镍靶材生产中的冷却装置，包括多块镍靶材、冷却背板和磁钢，多块镍靶材并列拼接后贴合安装于冷却背板上，所述磁钢安装在冷却背板的背面，所述冷却背板内设有循环冷却管道，所述冷却背板的端部还设有与循环冷却管道两端连通的冷却水进口和冷却水出口。本实用新型在冷却背板中设置循环冷却管道，可根据需要向循环冷却管道内通入冷却循环水，极大地提高了冷却效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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