
| 专利名称 | 一种连续供给的图案材料的定位采集系统和定位采集方法 | ||
| 申请号 | CN202010241747.1 | 申请日期 | 2020-03-31 |
| 法律状态 | 授权 | 申报国家 | 中国 |
| 公开/公告日 | 2020-06-16 | 公开/公告号 | CN111289531A |
| 优先权 | 暂无 | 优先权号 | 暂无 |
| 主分类号 | G01N21/898
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| 申请人 | 厦门力和行自动化有限公司 | 申请人地址 |
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| 权利人 | 厦门力和行自动化有限公司 | 当前权利人 | |
| 发明人 | 许汉武 | ||
| 代理机构 | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 何家富 |
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