一种卷对卷紫外纳米压印装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201010224532.5
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2010-07-13
申请人：
苏州苏大维格光电科技股份有限公司;苏州大学

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专利名称	一种卷对卷紫外纳米压印装置及方法
申请号	CN201010224532.5	申请日期	2010-07-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-01-12	公开/公告号	CN101943859A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州苏大维格光电科技股份有限公司;苏州大学	申请人地址	江苏省苏州市工业园区钟南街478号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州苏大维格光电科技股份有限公司,苏州大学	当前权利人	苏州苏大维格光电科技股份有限公司,苏州大学
发明人	吴智华;周小红;申溯;魏国军;浦东林;陈林森
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种卷对卷紫外纳米压印装置及方法，该装置包括传输装置、涂布装置、预固化装置、压印装置和强固化装置，该涂布装置将紫外光胶均匀的涂布于由传输装置传输的待压印材料上，经预固化装置流平和半固化之后，送至压印装置进行压印，最后通过强固化装置硬化成型。相对于现有的纳米压印技术，本发明的压印装置具有更高的生产效率和良率。本发明还揭示了一种利用上述装置实现卷对卷紫外纳米压印的方法。

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