一种等离子气体用的传输装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201910943422.5
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2019-09-30
申请人：
无锡英普朗科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种等离子气体用的传输装置
申请号	CN201910943422.5	申请日期	2019-09-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-01-03	公开/公告号	CN110648892A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	无锡英普朗科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市经济开发区高凯路27号1号楼3楼301～302 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡英普朗科技有限公司	当前权利人	无锡英普朗科技有限公司
发明人	杨逸波
代理机构	苏州隆恒知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	周子轶

摘要

本发明涉及了气体传输技术领域，公开了一种等离子气体用的传输装置，包括：传输管道，所述传输管道的进口端和出口端分别与第一设备和第二设备连通，以将所述等离子气体从所述第一设备传输到所述第二设备中。气体加热器件，所述气体加热器件设于所述传输管道的内部，以对所述传输管道内流动的所述等离子气体进行加热。控制模块，所述控制模块设于所述传输管道外部，所述控制模块与所述气体加热器件电性连接，以对所述气体加热器件进行控制。电源，所述电源与所述控制模块电性连接，以对所述控制模块提供电能。本发明一种等离子气体用的传输装置，能够抑制等离子气体在传输管道中沉积粉末，从而延长传输管道的维护周期。

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