一种PVD古铜色镀膜工艺

发明专利有效专利

申请号：
CN201810730712.7
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58
申请日期：
2018-07-05
申请人：
江苏伟创真空镀膜科技有限公司

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专利名称	一种PVD古铜色镀膜工艺
申请号	CN201810730712.7	申请日期	2018-07-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-16	公开/公告号	CN108823548A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8查看分类表>
申请人	江苏伟创真空镀膜科技有限公司	申请人地址	江苏省镇江市丹阳市立曜路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏伟创真空镀膜科技有限公司	当前权利人	江苏伟创真空镀膜科技有限公司
发明人	刘伟;张祖兴;张俊
代理机构	苏州创策知识产权代理有限公司	代理人	杨阳

摘要

本发明提供一种PVD古铜色镀膜工艺，其步骤依次为：将样品置于真空环境中在单一镀膜室内采用多靶位连续磁控溅射方式镀深金黄色TiN膜形成第一半成品：真空环境真空度为3.0×10‑1Pa～5.0×10‑1Pa，总气压为0.30Pa～0.50Pa，温度范围为20℃～150℃，氩气流量为200Sccm～220Sccm，氮气流量为200Sccm～220Sccm；在同一真空环境中在第一半成品上镀碳氧化物膜形成第二半成品；对第二半成品进行粗打磨和清洗形成第三半成品；对第三半成品进行精打磨和油漆处理形成一层硬度为2300HV的成品；对成品进行耐48小时人工汗测试，本发明能在真空环境中磁控溅射一次性镀好TiN+C使后处理过程得到简化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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