传送装置、基板离子植入系统以及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710607786.7
IPC分类号：--
申请日期：
2017-07-24
申请人：
武汉华星光电半导体显示技术有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	传送装置、基板离子植入系统以及方法
申请号	CN201710607786.7	申请日期	2017-07-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-12-05	公开/公告号	CN107437522A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	武汉华星光电半导体显示技术有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉华星光电半导体显示技术有限公司	当前权利人	武汉华星光电半导体显示技术有限公司
发明人	谢锐
代理机构	深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	钟子敏

摘要

本发明公开了一种传送装置、基板离子植入系统以及方法。该系统包括：基板承台和与基板承台连接的离子植入装置，基板可从基板承台进入离子植入装置；离子植入装置包括操作腔，基板可通过离子植入装置被传送至操作腔中进行离子植入；传送腔，用于将进行离子植入后的基板回传至基板承台。通过上述方式，本发明能够提高离子植入系统的产能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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