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一种MOCVD设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011236149.1
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/44
  • 申请日期:
    2020-11-09
  • 申请人:
    温州大学
著录项信息
专利名称一种MOCVD设备
申请号CN202011236149.1申请日期2020-11-09
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-03-16公开/公告号CN112501590A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人温州大学申请人地址
浙江省温州市瓯海区茶山高教园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人温州大学当前权利人温州大学
发明人钟蓉;王杨波;甄龙云;熊诵明;黄文献
代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)代理人陈包杰
摘要
本发明涉及一种更好的气流横向轨迹,并能保证沉积区域各个位置工艺温度一致的MOCVD设备。采用的技术方案包括:径向截面均呈圆形的顶盖、顶盖面板、底座和衬托,其特征在于:所述顶盖面板的上表面嵌入所述顶盖底部、下表面为中间薄两边厚的曲面,所述顶盖中心的垂直方向设置气体管道、且所述气体管道的下端延伸至所述底座中心,所述气体管道侧壁设有若干层圆周排列的出气孔。优点:通过新型的顶盖面板设计,使边缘和中心位置受力更为均匀且薄膜的生长速度更为接近,从而改善薄膜的均匀性问题。

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