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电子元件输送装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210594335.1
  • IPC分类号:B65G47/90
  • 申请日期:
    2012-12-31
  • 申请人:
    上海新阳半导体材料股份有限公司
著录项信息
专利名称电子元件输送装置
申请号CN201210594335.1申请日期2012-12-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-04-24公开/公告号CN103057953A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/90IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;9;0查看分类表>
申请人上海新阳半导体材料股份有限公司申请人地址
上海市松江区思贤路3600号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海新阳半导体材料股份有限公司当前权利人上海新阳半导体材料股份有限公司
发明人王振荣;刘红兵;张路
代理机构上海脱颖律师事务所代理人李强
摘要
本发明公开了一种电子元件输送装置,其特征在于,电子元件输送装置,包括机架、用于夹持容器的夹持组件、升降组件以及移动组件,所述升降组件和移动组件安装在所述机架上,所述夹持组件运动地设置,所述升降组件驱动所述夹持组件上下运动,所述移动组件驱动所述夹持组件水平运动。本发明电子元件输送装置,既可以横向自由移动盛放晶圆的容器,又可以竖向自由移动容器,取代了传统的人工搬运晶圆,节省人力,提高晶圆的搬运效率;本发明电子元件输送装置可实现自动抓持或松开容器,抓持牢固,可以防止容易在运输过程中摔落而损坏晶圆。

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