受等离子体加热的窗的多区域冷却

发明专利有效专利

申请号：
CN201880074096.2
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2018-11-12
申请人：
朗姆研究公司

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著录项信息

专利名称	受等离子体加热的窗的多区域冷却
申请号	CN201880074096.2	申请日期	2018-11-12
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-30	公开/公告号	CN111357075A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	张依婷;理查德·马什;萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼;亚历山大·帕特森
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	樊英如;张静

摘要

衬底处理系统包括多区域冷却装置，以对衬底处理室中或基本上的窗提供冷却。在一方面，该装置包括一或更多个气室，以覆盖衬底处理室中或实质上的窗，其包括在衬底处理室中用于变压器耦合型等离子体的能量源下方。一或更多个空气放大器及随附导管提供空气至一或更多个气室，以提供气流至窗。这些导管连接至距离中心不同距离处的气室入口，以引导气流至整个窗，从而处理取决于室中所进行的工艺的中心热、中间热及边缘热状况。在一方面，该一或更多个气室包括中心空气入口，以引导空气朝向窗的中心部分，以处理中心热状况。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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