一种电极杆的电极输入锁紧装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201720523413.7
IPC分类号：C23C14/24
申请日期：
2017-05-11
申请人：
成都西沃克真空科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种电极杆的电极输入锁紧装置
申请号	CN201720523413.7	申请日期	2017-05-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人	成都西沃克真空科技有限公司	申请人地址	四川省成都市成都蛟龙工业港双流园区东海路66座变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都西沃克真空科技有限公司	当前权利人	成都西沃克真空科技有限公司
发明人	孙力;向勇;曹德
代理机构	成都新驱科为知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	成实

摘要

本实用新型公开了一种电极杆的电极输入锁紧装置，主要由电极夹紧板(1)，设置在电极夹紧板(1)下方的压头(15)，以及设置在压头(15)上的气缸(12)组成；所述压头(15)连接在气缸(12)的伸缩杆(13)上。本实用新型设置的压头在气缸的伸缩杆的带动下能将电极杆的电极输入盘牢牢的压在电极夹紧板上，使电极杆传输的电极更稳定，从而本实用新型确保了电极杆为阻蒸台提供一个稳定的电极，有效的提高了阻蒸镀膜机对靶材的蒸发速度，极大的提高了阻蒸镀膜机的工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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