微电铸金属模具的制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510046436.5
IPC分类号：C25D1/10
申请日期：
2005-05-13
申请人：
大连理工大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微电铸金属模具的制作方法
申请号	CN200510046436.5	申请日期	2005-05-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-01-04	公开/公告号	CN1715455
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D1/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D1/00 电铸〔2〕 C25D1/10 模具；掩模；主型腔〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;1;/;1;0查看分类表>
申请人	大连理工大学	申请人地址	辽宁省大连市甘井子区凌工路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连理工大学	当前权利人	大连理工大学
发明人	杜立群;罗怡;刘冲;娄志峰;肖日松;薛琳;张永彩
代理机构	大连理工大学专利中心	代理人	关慧贞

摘要

一种微电铸金属模具的制作方法属于微制造技术微电铸金属模具领域，微电铸金属模具的制作方法包括模具基底前处理、微电铸母模的制作、微电铸、微电铸后处理、模具的检测工序。采用“无背板生长法”，无背板生长法就是通过紫外线照射光刻掩模板得到图案，然后进行在镍基板上直接电铸。在微电铸母模的制作工序中，在SU-8光刻胶与基板间加入了种子层；在微电铸后处理工序中，采用真空退火。按照该方法制作的微电铸金属模具具有侧壁垂直度、表面光洁度好的优点，解决基于模塑法、热压法的大规模、低成本生产的聚合物、塑料产品质量低下的问题。适用于有机聚合物、塑料的微细加工。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供