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流化床反应器和用于生产多晶硅颗粒的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680036152.4
  • IPC分类号:C01B33/027;B01J8/18
  • 申请日期:
    2016-11-09
  • 申请人:
    瓦克化学股份公司
著录项信息
专利名称流化床反应器和用于生产多晶硅颗粒的方法
申请号CN201680036152.4申请日期2016-11-09
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-02-16公开/公告号CN107709234A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B33/027IPC分类号C;0;1;B;3;3;/;0;2;7;;;B;0;1;J;8;/;1;8查看分类表>
申请人瓦克化学股份公司申请人地址
德国慕尼黑 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人瓦克化学股份公司当前权利人瓦克化学股份公司
发明人西蒙·佩德龙;伯恩哈德·鲍曼
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人张英;沈敬亭
摘要
本发明涉及用于生产多晶硅颗粒的流化床反应器,包括反应器容器(1)、反应器容器(1)内的反应器管(2)和反应器底部(15)。反应器管(2)由主要部分和表面涂层组成,并且中间壳体(3)位于反应器管(2)的外壁和反应器容器(1)的内壁之间。流化床反应器进一步包括加热装置(5)、用于供应流化气体的至少一个底部气体喷嘴(9)、用于供应反应气体的至少一个第二气体喷嘴(10)、用于供应硅晶种颗粒的供应装置(11)、用于多晶硅颗粒的移除线(14)和用于排出反应器废气(16)的装置。本发明的特征在于反应器管的主要部分由灰含量<2000ppmw的基础材料组成,并且表面涂层是厚度为5μm至700μm的CVD涂层,至少99.995wt.%的所述涂层由碳化硅组成。

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