具有成型或柔性窗口结构的加强的抛光垫

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专利名称	具有成型或柔性窗口结构的加强的抛光垫
申请号	CN02807483.1	申请日期	2002-03-29
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-11-03	公开/公告号	CN1543387
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	拉姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	拉姆研究公司	当前权利人	拉姆研究公司
发明人	尤金·Y·赵;贾康;迈克尔·大卫·史蒂曼;赫伯特·伊利奥特·里特弗克;克里斯蒂安·大卫·弗雷德里克森
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉

摘要

本发明公开了一种光学窗口结构。该光学窗口结构包括具有加强层和衬垫层的支撑层。除此以外，该光学窗口结构还具有连接在该支撑层上面的抛光层。此外，该光学窗口结构具有光学窗口孔和成型光学窗口。在操作过程中，该成型光学窗口至少部分地突出到支撑层和抛光垫的光学窗口孔中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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