基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201711332195.X
IPC分类号：G01J1/42;G01J11/00
申请日期：
2017-12-13
申请人：
中国科学院大连化学物理研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置
申请号	CN201711332195.X	申请日期	2017-12-13
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-06-21	公开/公告号	CN109916508A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J1/42 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J1/00 光度测定法，例如照相的曝光表（分光光度测定法入G01J 3/00；专用于辐射高温测定法的入G01J 5/00） G01J1/42 采用电辐射检测器（光学或机械部件入G01J 1/04；与基准光或基准电参数作比较的入G01J 1/10）	IPC分类号	G;0;1;J;1;/;4;2;;;G;0;1;J;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院大连化学物理研究所	申请人地址	辽宁省大连市中山路457号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院大连化学物理研究所	当前权利人	中国科学院大连化学物理研究所
发明人	李钦明;余永;杨家岳;丁洪利;张未卿;杨学明
代理机构	沈阳晨创科技专利代理有限责任公司	代理人	张晨

摘要

本发明公开了基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，所述测量装置包括：真空件，离子传输系统，离子位置探测器，光学传输系统，图像采集系统，数据处理系统。本发明可以通过改变气体种类，在线式测量真空紫外光的横向分布。通过选取不同的气体种类可以保证测量信号保持在最佳范围，同时因为离子探测器的灵敏度很高，而且不受外界电磁信号和机械振动的影响，可以获得非常高的测量精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供