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一种抛光机的水冷下抛光盘结构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610601957.0
  • IPC分类号:B24B55/02;B24B41/047
  • 申请日期:
    2016-07-28
  • 申请人:
    苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
著录项信息
专利名称一种抛光机的水冷下抛光盘结构
申请号CN201610601957.0申请日期2016-07-28
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2016-11-02公开/公告号CN106064350A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B55/02IPC分类号B;2;4;B;5;5;/;0;2;;;B;2;4;B;4;1;/;0;4;7查看分类表>
申请人苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市高新区昆仑山路68号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司当前权利人苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
发明人乔卫民;翟新;李方俊;马艳
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人曹毅
摘要
本发明公开了一种抛光机的水冷下抛光盘结构,包括下盘工作盘,所述下盘工作盘的下方设有水冷盘,所述水冷盘与所述下盘工作盘之间设有冷却腔,所述水冷盘上设有进水口和出水口,所述水冷盘上设有扇形冷却腔,所述扇形冷却腔内设有分流筋。本发明采用特殊的水冷盘结构避免了冷却水走捷径,只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出,确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却,及时带走因加工而产生的热量,对抛盘起到了强制冷却的作用,较传统的被动式冷却更可靠;结合精密的测温系统及冷却水流量调节系统,实现了抛盘温度的精密控制。

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