半导体工艺设备的尾气处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202011248286.7
IPC分类号：F23G7/06;F23G5/50;F23N1/02
申请日期：
2020-11-10
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	半导体工艺设备的尾气处理装置
申请号	CN202011248286.7	申请日期	2020-11-10
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-23	公开/公告号	CN112539413A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F23G7/06 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F23 燃烧设备；燃烧方法 F23G 焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁 F23G7/00 专门适用于焚烧特殊废物或低品位燃料（例如化学制品）的方法或设备，例如焚化炉（F23G 1/00优先；焚化式便器入A47K 11/02；淤渣的氧化入C02F 11/06；放射性废料的焚化入G21F 9/00）〔4，8〕 F23G7/06 处理废气或秽气的，例如排气（带有使排气变为无害的装置的发动机排气设备，例如通过加热转化或催化转化入F01N 3/08；处理来自燃烧固体或液体燃料的设备的初始燃烧未尽物质的燃烧的入F23B，F23C）〔4〕	IPC分类号	F;2;3;G;7;/;0;6;;;F;2;3;G;5;/;5;0;;;F;2;3;N;1;/;0;2查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	闫晓腾;杨帅;杨慧萍
代理机构	北京国昊天诚知识产权代理有限公司	代理人	施敬勃

摘要

本申请公开一种半导体工艺设备的尾气处理装置，所公开的尾气处理装置中：加热装置设置于壳体内，且第一容纳空间和第二容纳空间通过加热装置连通，壳体设置有出口部，出口部与第一容纳空间连通，且加热装置的出口朝向第一容纳空间，气压调节装置设置于加热装置的出口处，以调节加热装置和第一容纳空间二者的气压差；加热装置的入口朝向第二容纳空间，尾气进气装置的出气口位于第二容纳空间内，且与加热装置的入口相对设置，尾气进气装置的进气口位于壳体外，第二容纳空间通过空气进气量调节装置与壳体外连通，以调节进入第二容纳空间中空气的进气量。上述方案能够解决目前的尾气处理装置存在空气进气量以及进出口压差均不可调节的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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