薄膜非均匀应力在线测量的方法及装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200810116824.X
IPC分类号：G01L1/00;G01B11/24
申请日期：
2008-07-18
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	薄膜非均匀应力在线测量的方法及装置
申请号	CN200810116824.X	申请日期	2008-07-18
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2008-12-24	公开/公告号	CN101329204
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市信箱82分箱清华大学专利办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	冯雪;董雪林;黄克智
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

薄膜非均匀应力在线测量方法及装置，属于工程材料、结构形变及力学实验技术领域。该装置包括激光器、扩束装置、试件装载台、光栅、成像系统、CCD相机以及含有计算程序的计算机。该装置利用两片光栅对从试件表面反射回来的光束进行剪切干涉，得到干涉条纹；通过计算机程序处理干涉条纹，提取条纹中心线，进而计算条纹级数的变化梯度，可获得试件表面的全场曲率；由薄膜非均匀应力计算公式，通过测量得到的曲率就可获得薄膜中的非均匀应力。本发明结构紧凑，可对曲率进行全场、在线、实时测量，并实现薄膜非均匀应力的测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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