抛光机的下抛光盘

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020515303.4
IPC分类号：B24D13/18
申请日期：
2010-08-30
申请人：
兰州瑞德实业集团有限公司

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著录项信息

专利名称	抛光机的下抛光盘
申请号	CN201020515303.4	申请日期	2010-08-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24D13/18 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24D 磨削、抛光或刃磨用的工具（专门适用于滚光装置的磨料体，如磨球入B24B31/14；珩磨工具入B24B33/08；研具入B24B 37/11；） B24D13/00 具有挠性作用的工作部分的轮，如抛光轮；及其固定件 B24D13/18 有冷却装置的	IPC分类号	B;2;4;D;1;3;/;1;8查看分类表>
申请人	兰州瑞德实业集团有限公司	申请人地址	甘肃省兰州市城关区东岗东路1681号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	兰州瑞德实业集团有限公司,兰州瑞德设备制造有限公司	当前权利人	兰州瑞德实业集团有限公司,兰州瑞德设备制造有限公司
发明人	金万斌;李方俊;梁春
代理机构	兰州振华专利代理有限责任公司	代理人	张真

摘要

本实用新型涉及硅片研磨机或抛光机的结构，尤其涉及硅片研磨机或抛光机下抛光盘的结构。一种抛光机的下抛光盘，包括有下盘工作盘(7)，其主要特点在于还包括有在下盘工作盘(7)的下方设有下盘基盘(9)，下盘基盘(9)与下盘工作盘(7)之间形成冷却腔(3)，在下盘基盘(9)上设有进水口(8)和出水口(5)，分别与冷却腔(3)连通。本实用新型的优点是特殊的水冷盘结构避免了冷却水走捷径，只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出，确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却，及时带走因加工而产生的热量，对抛盘起到了强制冷却的作用，较传统的被动式冷却更可靠。结合精密的测温系统及冷却水流量调节系统，实现了抛盘温度的精密控制。

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