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一种多功能晶片切割设备检测装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910581035.1
  • IPC分类号:G01N21/952;G01N21/01
  • 申请日期:
    2019-06-29
  • 申请人:
    广东先导先进材料股份有限公司
著录项信息
专利名称一种多功能晶片切割设备检测装置
申请号CN201910581035.1申请日期2019-06-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-08-20公开/公告号CN110146518A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/952IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;9;5;2;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1查看分类表>
申请人广东先导先进材料股份有限公司申请人地址
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东先导先进材料股份有限公司当前权利人广东先导先进材料股份有限公司
发明人罗爱斌;宾启雄;彭家焕;孟国浩;谭继军;叶水景;周铁军
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人李宁
摘要
本发明公开了一种多功能晶片切割设备检测装置,包括固定夹具、CCD成像仪及显示器,其中,固定夹具包括相对设置且可相对移动的第一支座及第二支座,第一支座及第二支座分别设置有可旋转的第一配合部及第二配合部,第一支座及第二支座相互靠近以使待检测对象可转动地固定在固定夹具上;CCD成像仪用于拍摄待检测对象表面图像,CCD成像仪可往复移动地设置于固定夹具的上方;显示器与CCD成像仪连接;上述检测装置可通过成像设备获取待检测对象表面图像,使检测人员能够对待检测对象的表面进行全面的检查,对晶片切割断线异常产生的原因和钢线断线进行预防性检查,并采取相应的预防补救措施,降低断线发生概率和晶片损失。

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