光CVD设备

实用新型专利无效专利

申请号：
CN90203160.0
IPC分类号：--
申请日期：
1990-03-17
申请人：
西安电子科技大学

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光CVD设备
申请号	CN90203160.0	申请日期	1990-03-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	西安电子科技大学	申请人地址	陕西省西安市太白路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安电子科技大学	当前权利人	西安电子科技大学
发明人	孙建成
代理机构	陕西省发明专利服务中心	代理人	王品华

摘要

本实用新型涉及一种半导体器件生产的专用设备。该设备分为局部净化室和电气控制柜两大部分，其中局部净化室包括光化学反应室，循环净化系统，升降传动机构，光源电源箱。电气控制柜包括MIC-100型微机，温控仪，质量流量控制器，浮子流量计，气路显示板，增压泵机组，高效过滤器，高效粒子扑集器，混合器，冷阱，防腐真空电磁阀，气体管路及总电源等部分。具有淀积温度低，没有高能离子撞击损伤，淀积面积大，操作简单，微机程序控制，节约能源等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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