双压电梁驱动的膜片气泵

发明专利无效专利

申请号：
CN03157069.0
IPC分类号：F04B45/047
申请日期：
2003-09-12
申请人：
清华大学;韩国三星综合技术研究院

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专利名称	双压电梁驱动的膜片气泵
申请号	CN03157069.0	申请日期	2003-09-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-01-10	公开/公告号	CN1892028
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B45/047 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B45/00 具有柔性工作件的和专门适应于弹性流体的泵或泵送装置 F04B45/04 具有板状柔性件，例如隔膜（F04B 45/10优先）〔3〕 F04B45/047 具有电力驱动的泵〔6〕	IPC分类号	F;0;4;B;4;5;/;0;4;7查看分类表>
申请人	清华大学;韩国三星综合技术研究院	申请人地址	北京市－82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学,韩国三星综合技术研究院	当前权利人	清华大学,韩国三星综合技术研究院
发明人	周兆英;杨兴;叶雄英;赵慧贞;罗小兵
代理机构	北京众合诚成知识产权代理有限公司	代理人	李光松

摘要

本发明公开了属于精密机械中微型流体泵技术领域的一种双压电梁驱动的膜片气泵。它包含一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，易于推广应用。

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