供液装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110265196.7
IPC分类号：H01L21/67;H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/1157;H01L27/11578;F17D1/14;F17D3/01
申请日期：
2021-03-11
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	供液装置
申请号	CN202110265196.7	申请日期	2021-03-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-11	公开/公告号	CN112786499A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;2;4;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;5;1;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;7;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;7;8;;;F;1;7;D;1;/;1;4;;;F;1;7;D;3;/;0;1查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	刘旭华;李剑;张宏权
代理机构	上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	孙佳胤;陈丽丽

摘要

本发明涉及一种供液装置。所述供液装置包括：储液罐，用于储存处理液；第一管道，所述第一管道的输入端连接所述储液罐的输出端；第二管道，所述第二管道的输入端连接所述第一管道的输出端、所述第二管道的输出端连接所述储液罐的输入端，用于对所述储液罐中的处理液进行内循环；第三管道，所述第三管道的输入端连接所述第一管道的输出端、所述第三管道的输出端连接处理泵，所述处理泵将所述处理液泵送至处理机台，所述第三管道中的所述处理液的流速在所述处理机台处于运行状态和所述处理机台处于闲置状态时相同。本发明在所述处理机台在进行状态切换的过程中，所述处理泵的载入无需频繁切换，降低了对处理泵的损伤，延长了泵的使用寿命。

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